[发明专利]蒸镀掩模、其制造方法以及使用该蒸镀掩模的有机发光二极管的制造方法

权利要求书

1.一种蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，包括：

将以使磁性体金属粉末成为大致均匀的方式混合而成的热固化性树脂材料涂布于玻璃基板上的工序；

对在所述玻璃基板的被涂布面上的被涂布的热固化性树脂材料进行烧制而形成树脂薄膜层的工序；

在所述玻璃基板的被涂布面上形成的所述树脂薄膜层的上方配置激光加工用的掩模，一边使所述激光加工用的掩模相对于所述树脂薄膜层进行相对的逐步移动，一边照射激光而在所述树脂薄膜层的规定区域依次形成贯通开口的工序；以及

在所述玻璃基板的被涂布面所形成的所述树脂薄膜层的所述规定区域的整个区域形成贯通开口后，从所述玻璃基板的玻璃面侧照射紫外线激光来烧切所述玻璃基板与所述树脂薄膜层的界面，进而从所述玻璃基板剥离所述树脂薄膜层的工序。

2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，还包括：

在所述玻璃基板的被涂布面所形成的所述树脂薄膜层的所述规定区域的区域形成贯通开口后，再在所述玻璃基板的被涂布面所形成的所述树脂薄膜层的指定区域以外的区域，将保持部件层叠于所述树脂薄膜层上的工序；以及从所述玻璃基板的玻璃面侧照射紫外线激光来烧切所述玻璃基板与所述树脂薄膜层的界面，进而从所述玻璃基板剥离所述树脂薄膜层的工序。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，还包括：在从玻璃基板的玻璃面侧照射所述紫外线激光的工序之前或之后，在设置有被包含于所述树脂薄膜层的磁性体金属粉末及保持部件的情况下，磁化所述保持部件的工序。

4.一种有机发光二极管的制造方法，其使用通过根据权利要求1至权利要求3中任一项所述的蒸镀掩模的制造方法所制造的蒸镀掩模，所述制造方法的特征在于，包括：

在真空室内，将在被蒸镀面形成阳极的基板保持于基板保持器以使所述被蒸镀面朝下的工序；

通过在与所述基板保持器的所述基板呈相反侧设置的磁铁的磁力，以与所述基板的被蒸镀面密合的方式来吸引保持所述蒸镀掩模的工序；及

一边使设置在保持所述基板及所述蒸镀掩模的所述基板保持器、或所述真空室的下部的蒸镀源，在指定方向以一定速度旋转或平行移动，一边使蒸镀物质从所述蒸镀源蒸发的工序，

其中，一边交换所述蒸镀掩模及所述蒸镀物质，一边在所述基板的阳极上形成空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层、电子注入层、及阴极。