[发明专利]电磁感应式位置检测器有效

专利信息
申请号: 201680080404.3 申请日: 2016-04-13
公开(公告)号: CN108603768B 公开(公告)日: 2020-09-22
发明(设计)人: 石井浩;竹内克佳 申请(专利权)人: 三菱重工工作机械株式会社
主分类号: G01D5/20 分类号: G01D5/20;G01D5/245
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 赵晶;高培培
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 电磁感应 位置 检测器
【权利要求书】:

1.一种电磁感应式位置检测器,其具备:

初级侧部件,具有:发送绕组部,通过从交流电源流通电流来产生磁场;及接收绕组部,配置成在与该发送绕组部之间隔着绝缘层重叠;

次级侧部件,具有磁通调制部,通过所述发送绕组部的磁场产生涡流,由此在所述接收绕组部产生感应电压;及

控制部,根据所述感应电压进行位置检测,

所述电磁感应式位置检测器的特征在于,

所述发送绕组部具有:

第1发送绕组,其为如下形状,即,朝向所述次级侧部件的拉伸方向的一侧拉伸的周期图案在规定周期的端部折返,形成正极性环路及负极性环路;及

第2发送绕组,其为如下形状,即,设为隔着绝缘层与所述第1发送绕组重叠,朝向所述次级侧部件的拉伸方向的另一侧拉伸的与所述第1发送绕组相同周期的周期图案在规定周期的端部折返,形成所述正极性环路及所述负极性环路,

所述正极性环路与所述负极性环路沿所述次级侧部件的拉伸方向重叠一部分的同时交替形成,所述第1发送绕组中从该第1发送绕组自身的长边方向上的中间位置向两侧的所述正极性环路及所述负极性环路的配置调整为相互反向,所述第2发送绕组中从该第2发送绕组自身的长边方向上的中间位置向两侧的所述正极性环路及所述负极性环路的配置调整为相互反向,

所述接收绕组部具有:

第1接收绕组,形成为如下矩形图案,即,在所述次级侧部件的宽度方向上覆盖所述发送绕组部,并且,在所述次级侧部件的拉伸方向上具有相当于所述第1发送绕组及所述第2发送绕组的所述周期图案的周期的长度;及

第2接收绕组,以所述发送绕组部的长边方向上的中间位置为中心,呈与所述第1接收绕组对称的形状,并与所述第1接收绕组连接,

所述磁通调制部沿所述次级侧部件的拉伸方向排列有多个,并与所述发送绕组部及所述接收绕组部对置,

所述交流电源具有向所述第1发送绕组流通电流Is的第1交流电源及向所述第2发送绕组流通电流Ic的第2交流电源。

2.根据权利要求1所述的电磁感应式位置检测器,其特征在于,

将所述第1发送绕组及所述第2发送绕组的所述周期图案的周期设为nλ,该第1发送绕组及该第2发送绕组以相互错开1/4周期的方式重叠,

所述磁通调制部以λ为间距而排列有多个,

将所述电流Is设为Is=-Isin(2πα/λ)sin(ωt),

将所述电流Ic设为Ic=Icos(2πα/λ)sin(ωt),

所述控制部控制所述第1交流电源及所述第2交流电源,以所述感应电压Vf成为0的方式调整α,并设为X=α,由此进行位置检测,

其中,设为Is为所述电流Is的大小,Ic为所述电流Ic的大小,λ为所述磁通调制部的1间距的长度,ω为交流电流的角频率,t为时刻,X为所述次级侧部件的位置,α为参数。

3.根据权利要求2所述的电磁感应式位置检测器,其特征在于,

所述第1发送绕组及所述第2发送绕组的所述周期图案形成为,在相当于极大值及极小值的位置与端部的折返位置,设置有贯穿所述绝缘层的层间连接配线,该层间连接配线中,以相互交替的方式,从第N层过渡至第N+1层并且从第N+1层过渡至第N层。

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