[发明专利]电磁感应式位置检测器

说明书

本发明的电磁感应式位置检测器具备：发送绕组部(11)，正极性环路(11L+)与负极性环路(11L‑)沿标尺(2)的拉伸方向重叠一部分的同时交替形成，从发送绕组部(11)的长边方向上的中间位置向两侧的正极性环路(11L+)及负极性环路(11L‑)的配置调整为相互反向；第1接收绕组(14A)，形成为如下矩形图案，即，在标尺(2)的宽度方向上覆盖发送绕组部(11)，并且，在标尺(2)的拉伸方向上具有相当于发送绕组部(11)的周期图案的周期的长度；第2接收绕组(14B)，以发送绕组部(11)的长边方向上的中间位置为中心，呈与第1接收绕组(14A)对称的形状；及磁通调制部(21)，沿标尺(2)的拉伸方向排列有多个，并与发送绕组部(11)及接收绕组部(14)对置。

技术领域

本发明涉及一种电磁感应式位置检测器。

背景技术

电磁感应式位置检测器适用于机床、汽车、机器人等各种机械中的位置检测中，有直线式标尺与旋转式标尺。直线式标尺设置于机床的工作台等移动体，检测该移动体的直线移动位置，旋转式标尺设置于机床的旋转工作台等移动体(旋转体)，检测该移动体的旋转位置(旋转角度)。

直线式标尺及旋转式标尺通过配置成相互平行地面对面的图案的电磁感应检测位置。直线式标尺具有作为初级侧部件的滑块及作为次级侧部件的标尺。旋转式标尺的检测原理也与直线式标尺相同，旋转式标尺的定子与转子分别和直线式标尺的滑块与标尺对应。

下述专利文献1中记载的直线式标尺的以往技术中，若在滑块中，从激励信号发生器向发送绕组发送激励信号，则在标尺中的磁通调制部产生涡流，其结果，在滑块中的接收绕组产生感应电压。并且，能够根据该电压的变化检测滑块的位置。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公开平10-318781号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

上述专利文献1中，作为以往技术的课题，可举出下述(1)、(2)。

(1)通过向发送绕组发送激励信号而产生的磁场会直接向正极性环路及负极性环路(接收绕组)引导电压。由于正极性环路与负极性环路向反方向卷绕，因此接收绕组的感应电压在名义上被抵消，但实际上，制造上的误差破坏平衡，在接收绕组的感应电压中产生不必要的偏移成分，位置检测的精度下降。

(2)位于通过发送绕组产生的磁场内的磁通调制部在整个磁场内产生相同极性的空间调制，具有较大的偏移。另外，该偏移与上述(1)中的制造上的误差引起的偏移不同，是滑块的感应电压不以0为中心，而是将规定值作为中心，且从极大值至极小值，始终以相同极性(+或-)的状态变动的所谓的理论上的偏移。在存在该偏移的情况下，进行位置检测时，不得不考虑该偏移，但根据滑块与定子之间的宽度(间隙)，该偏移的值发生变化，因此需另外设置检测装置来进行间隙的测量。

上述专利文献1中，公开有如下技术：为了减少作为上述(1)、(2)的课题的感应电压的偏移，通过在读取磁头(滑块)中，在接收绕组的外侧设置相互对称的形状的2个发送绕组部(磁场产生环路)，由此消除发送绕组部向接收绕组的正极性环路及负极性环路引导的电压，减少偏移，而且，通过在标尺设置第1、2耦合环路，还消除标尺部的磁通，从而能够减少偏移。

然而，上述专利文献1中公开的技術中，不得不在接收绕组的外侧设置相互对称的形状的2个发送绕组部分，导致需要较宽的空间。

因此，本发明的目的在于，提供一种能够通过减少感应电压的偏移来实现高精度化且实现紧凑化的电磁感应式位置检测器。

用于解决技术课题的手段

解决上述课题的第1发明所涉及的电磁感应式位置检测器具备：