[发明专利]用于处理太阳能电池基板的设备、用于处理太阳能电池基板的系统和用于处理太阳能电池基板的方法

权利要求书

1.用于处理太阳能电池基板的设备，包括：

至少一个热装置，具有支撑面，所述支撑面被配置为用于支撑和接触所述太阳能电池基板，其中所述至少一个热装置被配置为用于进行传导热传递。

2.如权利要求1所述的设备，进一步包括：

至少一个出气口，被提供在所述至少一个热装置处，其中所述至少一个出气口被配置为沿所述太阳能电池基板的至少一部分引导气体流。

3.如权利要求2所述的设备，其中所述至少一个出气口被配置为沿所述太阳能电池基板的表面引导所述气体流，所述表面在其上具有印刷材料。

4.如权利要求1至3中任一项所述的设备，其中所述至少一个热装置包括加热装置和冷却装置中的至少一者。

5.如权利要求1至4中任一项所述的设备，其中所述设备被配置为用于进行以下步骤中的至少一者：

干化所述太阳能电池基板上的沉积材料；

移除源自所述太阳能电池基板的蒸发残留物；和

再生包括所述太阳能电池基板的光伏装置。

6.如权利要求1至5中任一项所述的设备，进一步包括固持布置，所述固持布置被配置为用于将所述太阳能电池基板固持在所述至少一个热装置处，其中所述固持布置包括一个或多个吸持装置和静电装置中的至少一者，所述一个或多个吸持装置被配置为提供吸取力以供固持所述太阳能电池基板，所述静电装置被配置为提供静电力以供固持所述太阳能电池基板。

7.如权利要求6所述的设备，其中所述一个或多个吸持装置包括所述支撑面上的一个或多个吸取孔和一个或多个凹口中的至少一者。

8.如权利要求1至7中任一项所述的设备，其中所述至少一个热装置包括被配置为减少作用在所述太阳能电池基板上的热应力的应力释放装置。

9.如权利要求1至8中任一项所述的设备，进一步包括传送装置，所述传送装置被配置为用于传送所述太阳能电池基板，其中所述传送装置被配置为用于进行以下步骤中的至少一者：将所述太阳能电池基板传送至所述至少一个热装置上，和将所述太阳能电池基板移开所述至少一个热装置。

10.如权利要求9所述的设备，其中所述至少一个热装置为两个或更多个热装置，并且其中所述传送装置被配置为用于从所述两个或更多个热装置的第一热装置向所述两个或更多个热装置的第二热装置传送所述太阳能电池基板。

11.如权利要求10所述的设备，其中所述两个或更多个热装置沿着由所述传送装置所提供的传送路径布置成一列。

12.如权利要求9至11中任一项所述的设备，其中所述传送装置包括一个或多个移动单元，所述一个或多个移动单元被配置为用于接触太阳能电池基板的下表面或所述下表面的边缘以移动所述太阳能电池基板。

13.用于处理太阳能电池基板的系统，包括：

如权利要求1至12中任一项所述的设备；

加载站，被配置为用于将所述太阳能电池基板加载进所述设备；和

卸除站，被配置为用于从所述设备卸除所述太阳能电池基板。

14.用于处理太阳能电池基板的方法，包括以下步骤：

在所述太阳能电池基板被定位在第一热装置的支撑面上的同时，使用提供传导热传递的所述第一热装置来执行所述太阳能电池基板的第一热处理。

15.如权利要求14所述的方法，进一步包括以下步骤：

在执行所述第一热处理的同时，沿所述太阳能电池基板的至少一部分引导气体流。