[发明专利]用于处理太阳能电池基板的设备、用于处理太阳能电池基板的系统和用于处理太阳能电池基板的方法在审
申请号: | 201680080794.4 | 申请日: | 2016-02-22 |
公开(公告)号: | CN108604619A | 公开(公告)日: | 2018-09-28 |
发明(设计)人: | 安德烈亚·贝茨尼;丹尼尔·吉斯隆;路易吉·德·桑蒂;马可·加里亚佐;马泰奥·贝塔佐 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 意大利圣比亚*** | 国省代码: | 意大利;IT |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池基板 热装置 支撑面 导热 内容提供 配置 传递 支撑 | ||
本公开内容提供用于处理太阳能电池基板(10)的设备(100)。设备(100)包括具有支撑面(112)的至少一个热装置(110),该支撑面被配置为用于支撑和接触太阳能电池基板(10),其中该至少一个热装置(110)被配置为用于进行传导热传递。
技术领域
本公开内容的实施方式涉及用于处理太阳能电池基板的设备、用于处理太阳能电池基板的系统和用于处理太阳能电池基板的方法。本公开内容的实施方式具体涉及用于制造太阳能电池的设备、系统和方法,且进一步涉及用于干化太阳能电池基板上的印刷材料的设备、系统和方法。
背景技术
太阳能电池是将阳光直接转换成电力的光伏装置。在此领域内,已经知道使用印刷技术(例如丝网印刷)来在太阳能电池基板(例如晶态硅基底)上制造太阳能电池,所述印刷技术在导线图样(例如选择性发射极)的太阳能电池基板结构的一个或多个表面上实现。在太阳能电池的制期造间,可例如使用热处理工艺来干化导线图样的经印刷结构。
为了提供高质量的太阳能电池,良好定义的热处理工艺例如在制造工艺中是有益的。进一步地,用于处理太阳能电池基板的设备和系统应提供高产量。
综上所述,克服本领域中的问题中的至少某些部分的用于处理太阳能电池基板的新的设备、系统和方法是有益的。具体而言,针对太阳能电池基板提供改良的热处理工艺的设备、系统和方法例如在制造期间是有益的。进一步地,提供增加的产量的设备、系统和方法是有益的。
发明内容
综上所述,提供了用于处理太阳能电池基板的设备、用于处理太阳能电池基板的系统和用于处理太阳能电池基板的方法。本公开内容的进一步态样、益处及特征是通过权利要求、本说明及随附的附图来理解。
依据本公开内容的一态样,提供了一种用于处理太阳能电池基板的设备。该设备包括至少一个热装置,该至少一个热装置具有一支撑面,该支撑面被配置为用于支撑和接触该太阳能电池基板,其中该至少一个热装置被配置为用于进行传导热传递。
依据本公开内容的进一步态样,提供了一种用于处理太阳能电池基板的系统。该系统包括依据本文中所述的实施方式的用于处理太阳能电池基板的该设备。该系统进一步包括被配置为用于将该太阳能电池基板加载进该装置的加载站和被配置为用于从该装置卸除该太阳能电池基板的卸除站。
依据本公开内容的又进一步态样,提供了一种用于处理太阳能电池基板的方法。该方法包括以下步骤:在该太阳能电池基板被定位在第一热装置的支撑面上的同时,使用提供传导热传递的该第一热装置来执行该太阳能电池基板的第一热处理的步骤。
依据本公开内容的另一态样,提供了一种用于处理太阳能电池基板的设备。该设备包括:两个或更多个热装置,被配置为用于接触该太阳能电池基板,其中该两个或更多个热装置被配置为用于进行传导热传递;和传送装置,被配置为用于从该两个或更多个热装置的第一热装置向该两个或更多个热装置的第二热装置传送该太阳能电池基板。
依据本公开内容的又进一步态样,提供了一种用于处理太阳能电池基板的方法。该方法包括以下步骤:使用提供传导热传递的第一热装置执行该太阳能电池基板的第一热处理,从该第一热装置向第二热装置传送该太阳能电池基板,和使用提供传导热传递的该第二热装置执行该太阳能电池基板的第二热处理。
实施方式还涉及用于实现所公开方法的设备,且包括用于执行各所述方法态样的设备部件。所述方法态样可由硬件部件、由适当软件所编程的计算机、由该两者的任何组合或以任何其他方式来执行。并且,依据本公开内容的实施方式还涉及用于操作所述设备的方法。用于操作所述设备的所述方法包括用于实现该设备的每个功能的方法态样。
附图说明
可通过参照实施方式来拥有本公开内容的更具体描述,使得可使用详细的方式来了解(以上所简要概述的)以上所记载的本公开内容的特征。随附的附图涉及本公开内容的实施方式且说明如下:
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料意大利有限公司,未经应用材料意大利有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201680080794.4/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的