[发明专利]正型感光性树脂组合物

权利要求书

1.一种正型感光性树脂组合物，其含有(a)聚苯并唑前体、(b)交联剂、(c)感光剂和(d)溶剂，

所述(a)聚苯并唑前体包含下述式(1)所表示的结构，

所述(b)交联剂由下述式(3)表示，

所述(c)感光剂为包含下述式(2)所表示的结构的化合物，

式(1)中，U为2价有机基团、单键、-O-或-SO₂-，V为包含脂肪族直链结构的基团，所述脂肪族直链结构的碳原子数为5～10，

式(3)中，R³各自独立地为氢原子或-CH₂-O-R⁴，多个R³的至少一个为-CH₂-O-R⁴，R⁴各自独立地为氢原子、甲基、乙基或丁基。

2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，所述(b)交联剂由下述式(4)表示，

3.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，所述(c)感光剂由下述式(5)表示，

式(5)中，Q各自独立地为氢原子或下述式(6)所表示的基团，至少一个Q为下述式(6)所表示的基团，

4.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，所述脂肪族直链结构的碳原子数为8或10。

5.一种图案固化膜的制造方法，其包含如下工序：

将权利要求1～4中任一项所述的正型感光性树脂组合物涂布于基板上并干燥而形成感光性树脂膜的工序；

以预定图案对所述感光性树脂膜进行曝光的工序；

使用碱水溶液对进行了曝光的所述感光性树脂膜进行显影而形成图案树脂膜的工序；以及

对所述图案树脂膜进行加热处理的工序。

6.根据权利要求5所述的图案固化膜的制造方法，在对所述图案树脂膜进行加热处理的工序中，加热处理温度小于或等于200℃。

7.一种权利要求1～4中任一项所述的正型感光性树脂组合物的固化物。

8.一种使用了权利要求7所述的固化物的层间绝缘膜、覆盖涂层或表面保护膜。

9.一种具有权利要求8所述的层间绝缘膜、覆盖涂层或表面保护膜的电子部件。