[发明专利]正型感光性树脂组合物

权利要求书

1.一种正型感光性树脂组合物，其仅由(a)聚苯并唑前体、(b)交联剂、(c)感光剂和(d)溶剂组成，

所述(a)成分包含下述式(1)所表示的结构单元，所述(b)成分为下述式(2)所表示的化合物，

式(1)中，U为2价有机基团、单键、-O-或-SO₂-，V为由十二烷二酸除去两个羧基的基团、或由癸二酸除去两个羧基的基团，

式(2)中，R₁各自独立地为氢原子或-CH₂-O-R₂所表示的基团，多个R₁的至少一个为-CH₂-O-R₂所表示的基团，R₂各自独立地为氢原子或碳原子数1～6的烷基。

2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，相对于所述(a)成分100质量份，包含大于或等于5质量份的所述(b)成分。

3.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物，所述(c)成分为重氮萘醌化合物。

4.一种图案固化膜的制造方法，包含如下工序：

将权利要求1～3中任一项所述的正型感光性树脂组合物涂布于基板上，进行干燥而形成感光性树脂膜的工序；

将所述感光性树脂膜曝光成预定图案的工序；

使用碱水溶液对曝光后的树脂膜进行显影而形成图案树脂膜的工序；以及

对所述图案树脂膜进行加热处理的工序。

5.根据权利要求4所述的图案固化膜的制造方法，在对所述图案树脂膜进行加热处理的工序中，加热处理温度小于或等于250℃。

6.一种固化膜，其由权利要求1～3中任一项所述的正型感光性树脂组合物得到。

7.一种层间绝缘膜、覆盖涂层或表面保护膜，其使用了权利要求6所述的固化膜。

8.一种电子部件，其具有权利要求7所述的层间绝缘膜、覆盖涂层或表面保护膜。