[发明专利]用于光刻设备的控制系统和方法

权利要求书

1.一种用于在第一时基中的开始时间值处初始化第一模块(120)中的第一操作的方法，该方法包括：

生成时钟信号(402,116)；

基于所述时钟信号(116)在所述第一模块(120)中生成第二时基(403)；

确定所述第二时基中的第二同步值(405)；

确定与所述第二时基中的第二同步值对应的第一时基中的第一同步值(406)；

基于所述第一时基中的第一同步值和开始时间值确定所述第二时基中的开始触发值(410)；和

基于所述第一模块(120)中的第二时基的开始触发值和当前值，初始化所述第一模块中的第一操作(411)，

其中所述第二时基与所述第一时基不同。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述第二时基包括基于所述时钟信号生成的计数值(116)。

3.根据权利要求1所述的方法，其中确定所述第一同步值(406)包括生成同步信号(117)，并根据在所述第一时基中接收到同步信号的时间而确定所述第一同步值(406)，并且其中所述第二同步值对应于通过接收所述同步信号所确定的第二时基中的值。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述同步信号(117)与所述时钟信号(116)组合以形成单个组合信号(118)，其用于确定所述第一同步值(406)以及确定所述第二同步值(405)。

5.根据权利要求1所述的方法，其中确定所述开始触发值包括：基于所述开始时间值和所述第一同步值确定所述第一时基中的相对开始时间，其中所述开始触发值是第二时基中的与所述第一时基中的相对开始时间对应的值。

6.根据权利要求2所述的方法，其中所述开始触发值对应于所述第二时基中的与所述第一时基中的相对开始时间对应的计数值。

7.根据权利要求2所述的方法，其中当所述计数值对应于所述开始触发值时，初始化所述第一操作。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述方法还包括：在第二模块(130)中启动第二操作，包括：

基于所述时钟信号(116)在所述第二模块(130)中生成(403)第二时基；和

基于所述第二模块中的第二时基的开始触发值和当前值，初始化第二模块(130)中的第二操作(411)。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述第二时基包括基于所述时钟信号(116)在所述第一模块和所述第二模块中的每一个中生成的计数值。

10.根据权利要求8所述的方法，其中所述第二同步值对应于所述第一模块和所述第二模块中的每一个中的计数值的重置。

11.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一和第二同步值表示时间中的相同时刻。

12.一种用于在第一时基中的开始时间值处初始化第一模块(120)中的第一操作的系统，该系统包括：

时钟(115)，用于生成(402)时钟信号(116)；

计数电路，用于基于时钟信号(116)在第一模块(120)中生成(403)第二时基；

第一电路，用于确定与所述第二时基中的第二同步值对应的所述第一时基中的第一同步值；

第二电路，用于基于所述第一时基中的第一同步值和开始时间值确定(410)第二时基中的开始触发值；

其中所述第一模块(120)包括用于基于所述第二时基的开始触发值和当前值而初始化所述第一模块中的第一操作(411)的第三电路，且

其中所述第二时基与所述第一时基不同。

13.根据权利要求12所述的系统，其中用于生成所述第二时基的电路包括计数电路(126)，其用于基于所述时钟信号(116)生成计数值。