[发明专利]用于光刻设备的控制系统和方法

说明书

一种用于在第一时基中的第一开始时间值初始化第一模块(120)中的第一操作的方法，该方法包括生成时钟信号(402,116)，基于该时钟信号(116)在第一模块(120)中生成第二时基(403)，确定第二时基中的第二同步值(405)，确定与第二时基中第二同步值对应的第一时基中的第一同步值(406)，基于第一时基中的第一同步值和开始时间值确定第二时基中的开始触发值(410)，并基于第一模块(120)中第二时基的开始触发值和当前值来初始化第一模块(120)中的第一操作(411)。

技术领域

本发明大体涉及用于初始化系统模块中的操作的方法和系统，且更具体地涉及用于对在系统(诸如带电粒子光刻系统)的两个或更多模块中操作的初始化进行同步的方法和系统。

背景技术

带电粒子光刻设备通常包括用于执行相应操作的若干模块。模块包括例如一种照明光学模块，其包括带电粒子束源，孔径阵列模块，射束转换模块(其包括射束消隐器阵列)，图案数据流模块，投影光学模块(其可包括射束偏转器阵列和投影透镜阵列)，以及用于控制承载晶片的可移动晶片台的台控制模块。

光刻设备的模块或子系统根据发送到各个模块的指令执行相应的操作。这些指令可以包括模块的标识符或地址，模块要执行的操作的指示，以及模块开始执行操作的开始时间。

由不同模块执行的操作通常必须彼此同步，例如带电粒子小射束的调制必须与在整个晶片表面的小射束的扫描同步，并且这些操作必须与晶片台的移动同步。随着光刻设备的图案化分辨率增加，并且带电粒子小射束的数量增加，这种操作同步所需的精度变得更高。

在现有技术系统中，控制器和子系统均包括同步的时钟电路。例如，专利公开US2010/0001770A1公开了一种系统，其包括具有主时钟112、122的第一节点10、12，以及具有从时钟22的第二节点20。在第一节点使用同步系统13且在第二节点使用从时钟时基控制器21来同步主时钟和从时钟的时基。然后，分别通过参考主时钟和从时钟来执行第一节点和第二节点的启动操作。然而，时钟电路及其同步的精度要求的提高需要更复杂和昂贵的解决方案。

发明内容

本发明旨在提供用于通过光刻设备中的一个或多个模块执行相应的一个或多个操作并且特别是开始相应的一个或多个操作的改进的准确度。

根据本发明的一个方面，提供了一种用于控制在光刻设备中的一个或多个模块中一个或多个操作的启动的方法和系统。一个或多个模块可以通过网络连接到控制器。

在一个方面，本发明包括一种用于在第一时基中的第一开始时间值处初始化第一模块中的第一操作的方法，该方法包括生成时钟信号；基于所述时钟信号在所述第一模块中生成第二时基；确定所述第二时基中的第二同步值；确定与所述第二时基中的第二同步值对应的第一时基中的第一同步值；基于所述第一时基中的第一同步值和开始时间值确定所述第二时基中的开始触发值；和基于所述第一模块中的第二时基的开始触发值和当前值，初始化所述第一模块中的第一操作。

第一时基可以包括时间尺度，例如，以天和/或小时和/或分钟和/或秒和其细分来测量。第一时基可以由每个模块中的时钟电路生成，或者由主时钟电路或控制器或与模块通信的其他电路中的时钟电路生成。确定第一同步值的步骤可包括生成同步信号，并根据在第一时基中接收同步信号的时间确定第一同步值。该步骤包括当由具有时钟电路的单元接收到同步信号时，存储由生成第一时基的时钟电路所指示的时间。

第二时基可以与第一时基不同，但是在一些实施例中，它们可以是相同的。第一和第二时基不需要基于共同时基操作，并且它们不需要彼此同步。可以在不参考(或不知道)第二时基的情况下设置第一时基中的第一开始时间。