[发明专利]半导体装置有效
申请号: | 201680082481.2 | 申请日: | 2016-02-29 |
公开(公告)号: | CN108701722B | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 增冈史仁 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L29/861 | 分类号: | H01L29/861;H01L29/868 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 何立波;张天舒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
1.一种半导体装置,其特征在于,具备:
漂移层;
第一以及第二p型阳极层,它们在所述漂移层之上彼此并排地形成;
n型阴极层以及p型阴极层,它们在所述漂移层之下彼此并排地形成;以及
n型缓冲层,其形成在所述漂移层与所述n型阴极层、所述p型阴极层之间,
所述第一p型阳极层的扩散深度比所述第二p型阳极层的扩散深度深,
所述第一p型阳极层的杂质浓度比所述第二p型阳极层的杂质浓度大,
所述n型阴极层的扩散深度比所述p型阴极层的扩散深度深,
所述n型阴极层的杂质浓度比所述p型阴极层的杂质浓度大,
所述第一p型阳极层的间距比所述n型阴极层的间距小。
2.一种半导体装置,其特征在于,具备:
漂移层;
第一以及第二p型阳极层,它们在所述漂移层之上彼此并排地形成;
n型阴极层以及p型阴极层,它们在所述漂移层之下彼此并排地形成;以及
n型缓冲层,其形成在所述漂移层与所述n型阴极层、所述p型阴极层之间,
所述第一p型阳极层的扩散深度比所述第二p型阳极层的扩散深度深,
所述第一p型阳极层的杂质浓度比所述第二p型阳极层的杂质浓度大,
所述n型阴极层的扩散深度比所述p型阴极层的扩散深度深,
所述n型阴极层的杂质浓度比所述p型阴极层的杂质浓度大,
所述n型阴极层之上的所述第一p型阳极层的间距比所述p型阴极层之上的所述第一p型阳极层的间距小。
3.一种半导体装置,其特征在于,具备:
漂移层;
第一以及第二p型阳极层,它们在所述漂移层之上彼此并排地形成;
n型阴极层以及p型阴极层,它们在所述漂移层之下彼此并排地形成;以及
n型缓冲层,其形成在所述漂移层与所述n型阴极层、所述p型阴极层之间,
所述第一p型阳极层的扩散深度比所述第二p型阳极层的扩散深度深,
所述第一p型阳极层的杂质浓度比所述第二p型阳极层的杂质浓度大,
所述n型阴极层的扩散深度比所述p型阴极层的扩散深度深,
所述n型阴极层的杂质浓度比所述p型阴极层的杂质浓度大,
由所述第一p型阳极层和所述第二p型阳极层构成的1个周期的间距比由所述n型阴极层和所述p型阴极层构成的1个周期的间距小。
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