[发明专利]柔性显示装置及其制造方法

权利要求书

1.一种柔性显示装置的制造方法，其特征在于，包括：

在载体基板上涂敷聚酰亚胺类溶液来形成第一聚酰亚胺类层的步骤；

在上述第一聚酰亚胺类层上形成氧化物薄膜晶体管阵列的步骤；

在上述氧化物薄膜晶体管阵列上涂敷聚酰亚胺类溶液来形成第二聚酰亚胺类层的步骤；

在上述第二聚酰亚胺类层上形成有机发光二极管的步骤；以及

去除上述载体基板的步骤；

在形成上述氧化物薄膜晶体管阵列的步骤中，以使上述氧化物薄膜晶体管阵列位于上述第一聚酰亚胺类层与上述第二聚酰亚胺类层之间的方式形成上述氧化物薄膜晶体管阵列；

其中，上述第一聚酰亚胺类层和上述第二聚酰亚胺类层具有相同的弹性率，上述氧化物薄膜晶体管阵列在上述第一聚酰亚胺类层与上述第二聚酰亚胺类层之间位于压缩应力及拉伸应力相同的中性面。

2.根据权利要求1所述的柔性显示装置的制造方法，其特征在于，在形成上述第二聚酰亚胺类层的步骤中，由包含与上述第一聚酰亚胺类层相同的组成成分的聚酰亚胺的聚酰亚胺类溶液形成上述第二聚酰亚胺类层。

3.根据权利要求1所述的柔性显示装置的制造方法，其特征在于，还包括向上述第一聚酰亚胺类层上喷射包括碳纳米管的油墨来形成缓冲层的步骤。

4.根据权利要求1所述的柔性显示装置的制造方法，其特征在于，形成上述第二聚酰亚胺类层的步骤包括贯通上述第二聚酰亚胺类层来形成用于使上述氧化物薄膜晶体管阵列与上述有机发光二极管电连接的通路接触部的步骤。

5.根据权利要求1所述的柔性显示装置的制造方法，其特征在于，还包括在上述有机发光二极管上形成触摸传感器的步骤。

6.根据权利要求1所述的柔性显示装置的制造方法，其特征在于，在形成上述第二聚酰亚胺类层的步骤中，以与上述第一聚酰亚胺类层的厚度相同的厚度形成上述第二聚酰亚胺类层。

7.根据权利要求1所述的柔性显示装置的制造方法，其特征在于，在形成上述第一聚酰亚胺类层的步骤中，在上述第二聚酰亚胺类层的厚度的50％以下范围内形成上述第一聚酰亚胺类层。

8.根据权利要求1所述的柔性显示装置的制造方法，其特征在于，在形成上述第二聚酰亚胺类层的步骤中，在上述第一聚酰亚胺类层的厚度的50％以下范围内形成上述第二聚酰亚胺类层。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的柔性显示装置的制造方法，其特征在于，在形成上述第一聚酰亚胺类层的步骤及形成第二聚酰亚胺类层的步骤中，分别以1μm至30μm的厚度形成上述第一聚酰亚胺层及上述第二聚酰亚胺类层。

10.根据权利要求9所述的柔性显示装置的制造方法，其特征在于，在形成上述第一聚酰亚胺类层的步骤及形成第二聚酰亚胺类层的步骤中，分别以1μm至10μm的厚度形成上述第一聚酰亚胺层及上述第二聚酰亚胺类层。

11.根据权利要求1所述的柔性显示装置的制造方法，其特征在于，在形成上述氧化物薄膜晶体管阵列的步骤中，使至少一个氧化物薄膜晶体管形成于上述第一聚酰亚胺类层上。

12.一种柔性显示装置，其特征在于，包括：

第一聚酰亚胺类层，由聚酰亚胺类物质形成；

氧化物薄膜晶体管阵列，形成于上述第一聚酰亚胺类层上；

第二聚酰亚胺类层，由聚酰亚胺类物质形成，并形成于上述氧化物薄膜晶体管阵列上；以及

有机发光二极管，形成于上述第二聚酰亚胺类层上；

其中，上述第一聚酰亚胺类层和上述第二聚酰亚胺类层具有相同的弹性率，上述氧化物薄膜晶体管阵列在上述第一聚酰亚胺类层与上述第二聚酰亚胺类层之间位于压缩应力及拉伸应力相同的中性面。