[发明专利]柔性显示装置及其制造方法

说明书

本发明提供柔性显示装置及其制造方法。本发明的柔性显示装置的制造方法包括：在载体基板上涂敷聚酰亚胺类溶液来形成第一聚酰亚胺类层的步骤；在第一聚酰亚胺类层上形成氧化物薄膜晶体管阵列的步骤；在氧化物薄膜晶体管阵列上涂敷聚酰亚胺类溶液来形成第二聚酰亚胺类层的步骤；在第二聚酰亚胺类层上形成有机发光二极管的步骤；以及去除载体基板的步骤，在形成氧化物薄膜晶体管阵列的步骤中，以使上述氧化物薄膜晶体管阵列来位于上述第一聚酰亚胺类层与上述第二聚酰亚胺类层之间的方式形成上述氧化物薄膜晶体管阵列。

技术领域

本发明涉及防止氧化物薄膜晶体管阵列被外部的应力受损来提高装置寿命及可靠性的柔性显示装置及其制造方法。

背景技术

通常，柔性显示装置为在可挠性基板形成显示部来附加柔韧性的装置，具有必要时可弯曲或折其形态来使用的很有用的优点。这种柔性显示装置作为可代替便携式计算机或电子报、智能卡、书、报纸、杂质等的印刷介质的新一代显示装置备受期待。

另一方面，柔性显示装置需在被弯曲时依旧维持显示性能，但是，根据弯曲程度引起显示性能的不良。

尤其，在柔性显示装置中，在柔性基板上形成电子器件(例如，薄膜晶体管结构物)，在柔性显示装置大大的被弯曲的情况下，弯曲引起的应力向电子器件传递来产生裂纹(crack)或降低电子器件的特性。在过多地弯曲或反复弯曲柔性显示装置或者使柔性显示装置大面积化的情况下，上述问题可更加严重，最终降低柔性显示装置的寿命及可靠性。

发明内容

技术问题

本发明提供将构成柔性显示装置的氧化物薄膜晶体管阵列配置于中性面来防止弯曲或折等的应力引起的损伤并提高装置的寿命及可靠性的柔性显示装置及其制造方法。

解决问题的手段

根据实施例的柔性显示装置的制造方法包括：在载体基板上涂敷聚酰亚胺类溶液来形成第一聚酰亚胺类层的步骤；在上述第一聚酰亚胺类层上形成氧化物薄膜晶体管阵列的步骤；在上述氧化物薄膜晶体管阵列上涂敷聚酰亚胺类溶液来形成第二聚酰亚胺类层的步骤；在上述第二聚酰亚胺类层上形成有机发光二极管的步骤；以及去除上述载体基板的步骤，在形成上述氧化物薄膜晶体管阵列的步骤中，以使上述氧化物薄膜晶体管阵列位于上述第一聚酰亚胺类层与上述第二聚酰亚胺类层之间的方式形成上述氧化物薄膜晶体管阵列。

在形成上述第二聚酰亚胺类层的步骤中，可由包含与上述第一聚酰亚胺类层相同的组成成分的聚酰亚胺的聚酰亚胺类溶液形成上述第二聚酰亚胺类层。

上述柔性显示装置的制造方法还可包括向上述第一聚酰亚胺类层上喷射包括碳纳米管的油墨来形成缓冲层的步骤。

形成上述第二聚酰亚胺类层的步骤可包括贯通上述第二聚酰亚胺类层来形成用于使上述氧化物薄膜晶体管结构物与上述有机发光二极管电连接的通路接触部的步骤。

上述柔性显示装置的制造方法还可包括在上述有机发光二极管结构物上形成触摸传感器的步骤。

在形成上述第二聚酰亚胺类层的步骤中，能够以与上述第一聚酰亚胺类层的厚度相同的厚度形成上述第二聚酰亚胺类层。

在形成上述第一聚酰亚胺类层的步骤中，可在上述第二聚酰亚胺类层厚度的50％以下的范围内形成上述第一聚酰亚胺类层。

在形成上述第二聚酰亚胺类层的步骤中，可在上述第一聚酰亚胺类层厚度的50％以下的范围内形成上述第二聚酰亚胺类层。

在形成上述第一聚酰亚胺层的步骤及形成第二聚酰亚胺类层的步骤中，可分别以1μm至30μm的厚度形成上述第一聚酰亚胺层及上述第二聚酰亚胺类层。

在形成第二聚酰亚胺类层的步骤中，能够以1μm至10μm的厚度形成上述第二聚酰亚胺类层。