[发明专利]蒸镀掩模的制造方法及制造装置

权利要求书

1.一种蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，包括：

在规定的位置上形成有一个或多个开口的金属薄膜层的一侧的表面，形成配置有树脂薄膜层的蒸镀掩模材料的工序；

相对于所述蒸镀掩模材料，在规定的方向施加规定的张力的状态下，将所述树脂薄膜层设为外侧，将所述金属薄膜层熔接于金属框架的工序；

在与所述金属框架的内侧的所述金属薄膜层呈相对向的位置上，在所述树脂薄膜层所形成的贯通孔的周围，配置以在所述金属薄膜层的侧的尺寸变大的方式来形成锥形的锥形形成构件/材料的工序；

在所述树脂薄膜层的上方配置用于形成所述贯通孔的激光加工用掩模的工序；及

经由所述激光加工用掩模，在所述树脂薄膜层照射激光且在所述树脂薄膜层形成所述贯通孔的工序，

通过将所述激光照射于所述树脂薄膜层而在所述树脂薄膜层形成所述贯通孔之后，使通过所述贯通孔的激光与所述锥形形成构件/材料产生反应，且通过所产生的物理现象而在所述贯通孔的周围形成锥形，

所述锥形形成构件/材料为以下任一种：包括将通过所述贯通孔的激光反射到所述树脂薄膜层的侧的散射反射面；是将通过所述贯通孔的激光转换成热的光热转换材料；是经由通过所述贯通孔的激光而使等离子产生的等离子产生材料。

2.一种蒸镀掩模的制造装置，其特征在于，包括：

基台，其为用于保持金属框架，所述金属框架用于使在规定的位置形成有一个或多个开口的金属薄膜层的一侧的表面上配置有树脂薄膜层的蒸镀掩模材料，在将所述树脂薄膜层设为外侧且在规定的方向施加规定的张力的状态下被熔接；

锥形形成构件/材料，其配置在与所述金属框架的内侧的所述金属薄膜层呈相对向的位置，并用于在所述树脂薄膜层形成的贯通孔的周围形成：大于所述金属薄膜层的侧的尺寸的锥形；

激光加工用掩模，其配置在所述树脂薄膜层的上方，并用于形成所述贯通孔；及

激光光源，其用于经由所述激光加工用掩模，将激光照射于所述树脂薄膜层，并在所述树脂薄膜层形成所述贯通孔，

在通过将所述激光照射于所述树脂薄膜层而在所述树脂薄膜层形成所述贯通孔之后，再使通过所述贯通孔的激光与所述锥形形成构件/材料引起反应，通过因此产生的物理现象而在所述贯通孔的周围形成锥形，

所述锥形形成构件/材料为以下任一种：包括将通过所述贯通孔的激光反射到所述树脂薄膜层的侧的散射反射面；是将通过所述贯通孔的激光转换成热的光热转换材料；是经由通过所述贯通孔的激光而使等离子产生的等离子产生材料。

3.一种有机发光二极管的制造方法，其特征在于，

使用如权利要求项1所述的蒸镀掩模的制造方法或者使用根据如权利要求项2所述的蒸镀掩模的制造装置所制造而得的蒸镀掩模。