[发明专利]喷嘴式电子射线照射装置和电子射线杀菌设备

权利要求书

1.一种喷嘴式电子射线照射装置，其包括：

真空室；

电子射线发生器，配置在所述真空室的内部；以及

真空喷嘴，与所述真空室连接，引导来自所述电子射线发生器的电子射线并向外部照射，

所述喷嘴式电子射线照射装置的特征在于，

还包括高真空泵，所述高真空泵连接于所述真空室中的与真空喷嘴连接的部分的附近，能够从所述真空室中的与真空喷嘴连接的部分的附近进行吸引。

2.根据权利要求1所述的喷嘴式电子射线照射装置，其特征在于，

高真空泵是离子泵，

所述喷嘴式电子射线照射装置还包括磁场无效化装置，所述磁场无效化装置使来自所述离子泵的磁场成为不影响来自电子射线发生器的电子射线的程度。

3.根据权利要求2所述的喷嘴式电子射线照射装置，其特征在于，磁场无效化装置是覆盖离子泵的磁屏蔽件。

4.根据权利要求2所述的喷嘴式电子射线照射装置，其特征在于，磁场无效化装置是退避用配管，所述退避用配管连接离子泵和真空室，并且使所述离子泵位于退避位置。

5.一种电子射线杀菌设备，其特征在于，包括：

转台，在外周部配置有权利要求1至4中任意一项所述的喷嘴式电子射线照射装置；以及

法兰，将喷嘴式电子射线照射装置固定于所述转台，

所述法兰连接所述喷嘴式电子射线照射装置的真空室、真空喷嘴和高真空泵。

6.根据权利要求5所述的电子射线杀菌设备，其特征在于，高真空泵配置成朝向转台的中心侧。

7.根据权利要求5所述的电子射线杀菌设备，其特征在于，

配置于转台的喷嘴式电子射线照射装置为多个，

所述喷嘴式电子射线照射装置的高真空泵朝向转台的外侧，并且配置在所述喷嘴式电子射线照射装置和相邻的喷嘴式电子射线照射装置之间，

所述喷嘴式电子射线照射装置的磁场无效化装置使来自所述喷嘴式电子射线照射装置的离子泵的磁场成为也不影响来自相邻的喷嘴式电子射线照射装置的电子射线发生器的电子射线的程度。