[发明专利]线性马达、头单元、表面安装机及单轴机器人

权利要求书

1.一种线性马达，具有：

电枢，成为直线排列有多个线圈部的形态；及

励磁元件，以与所述电枢相向的方式在与所述线圈部的排列方向相同的方向上排列有多个永磁体，

所述电枢和所述励磁元件中的某一方比另一方在所述排列方向上长，并且所述电枢和所述励磁元件中的某一方相对于另一方能够沿所述排列方向移动，

在所述电枢和所述励磁元件中的较长的一方直接固定有被检测部，与所述电枢和所述励磁元件中的较短的一方相邻地设置有以光学方式对所述被检测部进行检测的检测部。

2.根据权利要求1所述的线性马达，其中，

固定有所述被检测部的所述电枢或所述励磁元件的表面由树脂平坦地设置，

所述被检测部固定于所述树脂。

3.根据权利要求1或2所述的线性马达，其中，

所述励磁元件相对于所述电枢能够沿所述移动方向移动。

4.根据权利要求3所述的线性马达，其中，

所述检测部具有检测所述被检测部的传感器部，且以与所述电枢相邻的方式在所述移动方向上排列设置，

所述检测部的传感器部在所述检测部中设置于所述电枢侧的端部。

5.根据权利要求4所述的线性马达，其中，

所述被检测部从所述励磁元件沿所述移动方向延伸设置，

在与所述励磁元件在所述移动方向上相邻的位置，设置有将从所述励磁元件延伸出的所述被检测部固定的支撑部。

6.一种头单元，具有使保持元件的元件保持部上下移动的元件保持驱动部，

所述元件保持驱动部具有权利要求1～5中任一项所述的线性马达。

7.根据权利要求6所述的头单元，其中，

所述元件保持驱动部与所述元件保持部一起具有多个所述线性马达。

8.一种表面安装机，具备：

元件安装装置，具有权利要求6或7所述的头单元；

元件供给装置，向所述元件安装装置供给所述元件；及

基板搬运装置，搬运供由所述元件安装装置保持的所述元件进行安装的基板。

9.一种表面安装机，具备使向基板安装元件的元件安装装置沿水平方向移动的头驱动部，

所述头驱动部具有权利要求1或2所述的线性马达。

10.一种单轴机器人，具备使台座部直线移动的台座驱动部，

所述台座驱动部具有权利要求1或2所述的线性马达，

所述电枢设置于所述台座部。