[发明专利]线性马达、头单元、表面安装机及单轴机器人

说明书

本发明实现线性马达的小型化，并且通过提高线性马达的响应性来使线性马达的伺服控制高速化。由本说明书公开的线性马达是线性马达(40)，具有以使多个线圈部(46)沿上下方向排列的形态固定于安装框架(41)的电枢(45)和以与电枢(45)相向的方式沿上下方向排列有多个永磁体(54)的励磁元件(55)，励磁元件(55)在上下方向上比电枢(45)长，并且励磁元件(55)相对于电枢(45)能够沿上下方向移动，在励磁元件(55)直接固定有光学式的线性标尺(81)，在安装框架(41)，以光学方式对线性标尺(81)进行检测的检测部(82)在上下方向上与电枢(45)相邻地设置。

技术领域

由本说明书公开的技术涉及线性马达、头单元、表面安装机及单轴机器人。

背景技术

例如，作为使吸嘴沿上下方向升降的线性马达，公知有日本特开2013-143886号公报(下述专利文献1)所记载的结构。该线性马达具备：设置于框架的线圈；具有与线圈相向配置的永磁体并以能够上下移动的方式支撑于框架的滑动件；及以在上下方向上与线圈排列的方式设置于框架的编码器，通过对线圈进行通电控制，由于线圈与永磁体之间所产生的吸引力而使滑动件沿上下方向移动。

编码器具备：磁性标尺，在滑动件中配设于永磁体的下方；及编码器主体，在线圈的下方以与磁性标尺相向的方式支撑于框架，通过编码器主体的检测用传感器读取磁性标尺，来检测滑动件的上下方向的位置。

另一方面，作为对滑动件的上下方向的位置进行检测的检测单元，存在在以滑动件为边界而与线圈侧即前侧相反一侧的后侧具有传感器和线性标尺的结构，该结构通过固定于底板的传感器读取贴附于在可动底座设置的支撑部的线性标尺来检测滑动件的上下方向的位置。作为这样的技术，公知有日本专利第5250267号公报(下述专利文献2)所记载的内容。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-143886号公报

专利文献2：专利第5250267号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，上述的线性马达由于由线圈和永磁体构成的驱动部与检测滑动件的位置信息的位置检测部在上下方向或前后方向上排列配置，所以导致线性马达在上下方向或前后方向上大型化。

另外，在驱动部与位置检测部的位置远离的情况下，通过从驱动部远离的位置检测部来检测因驱动部而移动的滑动件，因此位置检测部相对于驱动部的追随性变差，从而导致驱动部与位置检测部间的响应性变差。因此，无法提高线性马达的伺服增益，导致无法使线性马达的伺服控制高速化。

在本说明书中，公开实现线性马达的小型化并且通过提高线性马达的响应性而使线性马达的伺服控制高速化的技术。

用于解决课题的技术方案

由本说明书公开的技术是线性马达，具备：电枢，成为直线排列有多个线圈部的形态；及励磁元件，以与上述电枢相向的方式在与上述线圈部的排列方向相同的方向上排列有多个永磁体，上述电枢和上述励磁元件中的某一方比另一方在上述排列方向长，并且上述电枢和上述励磁元件中的某一方相对于另一方能够沿上述排列方向移动，上述线性马达构成为：在上述电枢和上述励磁元件中的较长的一方直接固定有被检测部，与上述电枢和上述励磁元件中的较短的一方相邻地设置有以光学方式对上述被检测部进行检测的检测部。

另外，由本说明书公开的技术是头单元，具有使保持元件的元件保持部上下移动的元件保持驱动部，该头单元构成为：上述元件保持驱动部具有上述线性马达。

另外，由本说明书公开的技术构成为：上述元件保持驱动部与上述元件保持部一起具有多个上述线性马达。