[发明专利]磁轴承装置和流体机械系统

说明书

一种磁轴承装置和流体机械系统，能够减小由位置传感器的温度漂移引起的磁悬浮控制的误差。在第一模式下，控制部(40)进行第一工作和第二工作，在第一工作中，控制部控制电磁铁(51、52)的合成电磁力(F)，使得被支承体在预先设定好的移动范围内移动，在第二工作中，控制部基于参照值(R)与在第一工作中的位置传感器(30)的输入输出特性获取温度漂移相关信息，该温度漂移相关信息是表示参照值(R)与位置传感器(30)的输入输出特性之间的相关性的。在第二模式下，控制部(40)进行第三工作和第四工作，在第三工作中，控制部根据位置传感器(30)的检测信号的信号电平控制电磁铁(51、52)的合成电磁力(F)，在第四工作中，控制部基于温度漂移相关信息和第三工作中的参照值(R)补偿第三工作中的位置传感器(30)的输入输出特性。

技术领域

本公开涉及一种磁轴承装置和包括该磁轴承装置的流体机械系统。

背景技术

迄今为止，已知一种磁轴承，其构成为利用多个电磁铁的合成电磁力非接触地支承旋转轴等被支承体。例如，在专利文献1中，公开了包括这种磁轴承的磁轴承装置。专利文献1中的磁轴承装置构成为：利用位置检测传感器检测对象物(被支承体)的位置，将该检测信号(位置检测传感器的输出)作为反馈信号输入到控制电路中，控制电磁铁的电磁力来将对象物保持在规定位置上。如上所述，专利文献1的磁轴承装置根据位置检测传感器的输出控制对象物的位置。

在专利文献1的图4中公开了一种位置传感器的结构，该位置传感器抑制由于温度变化引起的传感器输出的漂移(由于温度变化而产生的传感器的输入输出特性的变化，即温度漂移)。在该结构中，将两个位置检测部布置成夹着测量对象物相互对置，将两个位置检测部的输出经由两个传感器控制器输入到差动放大电路中并让差动放大电路进行计算，从而抑制位置传感器的温度漂移。

专利文献1：日本公开实用新型公报实开平4－40308号公报

发明内容

－发明要解决的技术问题－

然而，在专利文献1的图4中公开的结构中，两个位置检测部的温度漂移(由于温度变化而产生的输入输出特性的变化)并不一定相等。在两个位置检测部的温度漂移不等的情况下，在差动放大电路中不能使两个位置检测部的温度漂移相抵消。其结果是，取决于位置检测部的温度漂移的信号分量会残留在差动放大电路的输出信号中，导致根据该差动放大电路的输出信号进行的磁悬浮控制(为了利用磁轴承的电磁铁的合成电磁力非接触地支承被支承体的控制)产生误差。因此，专利文献1的图4中公开的结构难以减小由位置传感器的温度漂移引起的磁悬浮控制的误差。

因此，本公开的目的在于：提供一种磁轴承装置，其能够减小由位置传感器的温度漂移引起的磁悬浮控制的误差。

－用以解决技术问题的技术方案－