[发明专利]用于结合两个基板的装置和方法

权利要求书

1.一种用于将第一基板（2o）的第一基板表面（2os）结合至第二基板（2u）的第二基板表面（2us）的装置（10、10'），所述装置具有：

- 用于容纳所述第一基板（2o）的第一基板保持器（6o、6o'）、

- 用于容纳所述第二基板（2u）的第二基板保持器（6u、6u'），

其特征在于，

至少所述第一基板保持器（6o、6o'）具有第一凹部（7o）以及至少部分地环绕所述第一凹部（7o）的隆起（8o），所述第一凹部具有用于将所述第一基板（2o）固定在所述第一凹部中的固定装置（3），其中，所述第一凹部（7o）和/或所述隆起（8o）以如下方式适应于所述第一基板（2o），使得所述第一基板表面（2os）与扩展表面（8os）形成大致连续表面和/或合并到所述隆起（8o）中，其中，在所述第一基板（2o）基板周边与所述隆起（8o）的内壁（8oi）之间的第一距离（ho）小于1 mm，其中，在所述第一基板表面（2os）与所述扩展表面（8os）之间的第二距离（vo）小于 1 mm。

2.根据权利要求1所述的装置(10、10')，其中，所述隆起（8o）具有扩展表面（8os），所述扩展表面用于扩展所述第一基板表面（2os）。

3.根据权利要求1或2所述的装置（10、10'），其中，所述第一凹部（7o）和/或所述隆起（8o）能够被手动地和/或半自动地和/或自动地修改，使得所述第一基板表面（2os）与所述扩展表面（8os）形成大致连续表面和/或合并到所述隆起（8o）中。

4.根据权利要求1或2所述的装置（10、10'），其中，所述第一基板保持器（6o、6o'）具有外部部件（1o'）和能够在所述外部部件（1o'）中移动的内部部件（5o），其中，所述外部和/或内部部件（5o）能够平移地和/或旋转地移动，其中，所述外部部件（1o'）和所述内部部件（5o）能够固定到彼此。

5.根据权利要求1或2所述的装置（10、10'），其中，在所述第一基板表面（2os）和所述扩展表面（8os）之间的竖直距离（vo、vu）是可调整的。

6.根据权利要求1或2所述的装置（10、10'），所述装置具有至少一个孔（11）以用于抽空和/或冲洗所述第一凹部（7o）。

7.根据权利要求1或2所述的装置（10、10'），其中，所述隆起（8o、8'、8''）具有朝内和/或朝外弯曲的扩展表面。

8.根据权利要求1或2所述的装置（10、10'），其中，所述隆起（8o、8'、8IV）具有朝内和/或朝外以一角度（a）倾斜的扩展表面（8o、8s'''、8sIV）。

9.根据权利要求1所述的装置（10、10'），其中，所述第一凹部（7o）和/或所述隆起（8o）以如下方式适应于所述第一基板（2o）的形状，使得所述第一基板表面（2os）与扩展表面（8os）形成大致连续表面和/或合并到所述隆起（8o）中，其中，在所述第一基板（2o）基板周边与所述隆起（8o）的内壁（8oi）之间的第一距离（ho）小于1 mm，其中，在所述第一基板表面（2os）与所述扩展表面（8os）之间的第二距离（vo）小于 1 mm。

10.根据权利要求1所述的装置(10、10')，其中，所述隆起（8o）具有扩展表面（8os），所述扩展表面用于无缝扩展所述第一基板表面（2os）。

11.根据权利要求6所述的装置（10、10'），其中，若干孔（11）以对称分布的方式布置。

12.根据权利要求6所述的装置（10、10'），其中，所述第一基板保持器（6o、6o'）具有外部部件（1o'）和能够在所述外部部件（1o'）中移动的内部部件（5o），其中，若干孔（11）布置在所述内部部件中。