[发明专利]掩模片、蒸镀掩模、显示面板的制造方法在审
申请号: | 201680089235.X | 申请日: | 2016-09-14 |
公开(公告)号: | CN109689920A | 公开(公告)日: | 2019-04-26 |
发明(设计)人: | 山渕浩二 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H05B33/10;H05B33/14 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳;徐飞跃 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 中间部 侧端部 掩模片 边缘图案 边缘形成 方向正交 显示面板 蒸镀掩模 贯通孔 厚度比 窄幅部 长边 夹持 蒸镀 制造 | ||
1.一种蒸镀用的掩模片,其以第一方向为长边方向,其特征在于:
包括可夹持的第一侧端部和具有多个贯通孔的中间部,
在所述第一侧端部与中间部之间具有与第一方向正交的第二方向上的长度即宽度比中间部小的第一窄幅部,或者具有沿着在所述第二方向上相对的两个边缘形成的厚度比中间部的最大厚度小的两个边缘图案。
2.根据权利要求1所述的掩模片,其特征在于:
与中间部的在第二方向上相对的两个边缘相比,第一窄幅部的在第二方向上相对的两个边缘位于更靠第二方向上的内侧的位置。
3.根据权利要求1所述的掩模片,其特征在于:
所述中间部包括形成有多个贯通孔的有效部和包围有效部的非有效部。
4.根据权利要求3所述的掩模片,其特征在于:
所述第一侧端部的宽度比中间部的宽度小,且比有效部的宽度大。
5.根据权利要求3所述的掩模片,其特征在于:
所述第一窄幅部为中间变细的形状,第一窄幅部的最小宽度比有效部的宽度大,且比第一侧端部的宽度小。
6.根据权利要求1所述的掩模片,其特征在于:
在所述第一侧端部与中间部之间,以朝向中间部呈放射状延伸的方式设置有厚度比中间部的最大厚度小的多个线条图案。
7.根据权利要求1所述的掩模片,其特征在于:
所述两个边缘图案的间隔比有效部的宽度大。
8.根据权利要求1所述的掩模片,其特征在于:
在可夹持的第二侧端部与所述中间部之间具有宽度比中间部小的第二窄幅部,或者具有沿着在所述第二方向上相对的两个边缘形成的厚度比中间部的最大厚度小的两个边缘图案。
9.根据权利要求1~8中任一项所述的掩模片,其特征在于:
所述多个贯通孔是供成为蒸镀对象的颗粒通过的蒸镀孔。
10.一种蒸镀掩模,其特征在于,包括权利要求1所述的掩模片和固定该掩模片的框体。
11.根据权利要求10所述的蒸镀掩模,其特征在于:
掩模片和框体在设置于所述第一窄幅部的熔接部、或者在设置于所述两个边缘图案之间的熔接部被熔接在一起。
12.根据权利要求11所述的蒸镀掩模,其特征在于:
所述熔接部的第二方向的长度与第一窄幅部的宽度相等。
13.根据权利要求12所述的蒸镀掩模,其特征在于:
所述熔接部的第二方向的长度与第一窄幅部的最小宽度相等。
14.根据权利要求11所述的蒸镀掩模,其特征在于:
所述熔接部的第二方向的长度与第一侧端部的宽度相等。
15.根据权利要求11所述的蒸镀掩模,其特征在于:
所述熔接部的第二方向的长度为设置于中间部的有效部的宽度以上。
16.根据权利要求11所述的蒸镀掩模,其特征在于:
包括架设于所述框体的第一桥片和第二桥片,中间部的在第二方向上相对的两个边缘中的一个边缘与所述第一桥片重叠,另一个边缘与所述第二桥片重叠。
17.根据权利要求16所述的蒸镀掩模,其特征在于:
所述熔接部的第二方向的长度为从中间部的宽度减去所述中间部的两个边缘中的一个边缘与所述第一桥片的重叠宽度和所述中间部的两个边缘中的另一个边缘与所述第二桥片的重叠宽度所得的值以下。
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