[发明专利]掩模片、蒸镀掩模、显示面板的制造方法

说明书

提供一种以第一方向(D1)为长边方向的蒸镀用的掩模片，其包括可夹持的第一侧端部(G1)和具有多个贯通孔的中间部(M)，在所述第一侧端部与中间部之间具有与第一方向正交的第二方向(D2)上的长度即宽度(Wk)比中间部小的第一窄幅部(K1)、或者具有沿着在所述第二方向上相对的两个边缘形成的厚度比中间部的最大厚度小的两个边缘图案。

技术领域

本发明涉及蒸镀用的掩模片等。

背景技术

例如，在OLED(有机发光二极管)面板的制造工序中，通过使有机物穿过具有多个贯通孔的蒸镀掩模而蒸镀于基板上，形成与多个贯通孔对应的有机物的图案。

在蒸镀工序中，将多个掩模片固定于框体(框架)上使用。具体而言，在对掩模片赋予了张力的状态下进行蒸镀掩模相对于框体的对位，将掩模片熔接于框体上(参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本公开特许公报“特开2015-127446号(公开日：2015年7月9日)”。

发明内容

发明要解决的技术问题

发明者发现，在蒸镀掩模相对于框体的对位时的蒸镀掩模的张力状态与熔接後的蒸镀掩模的张力状态不同的情况下，有可能导致熔接后蒸镀掩模的贯通孔相对于框体错位或变形。

用于解决问题的技术方案

本发明一方面提供一种以第一方向为长边方向的蒸镀用的掩模片，其包括可夹持的第一侧端部和具有多个贯通孔的中间部，在上述第一侧端部与中间部之间具有与第一方向正交的第二方向上的长度即宽度比中间部小的第一窄幅部，或者具有沿着在上述第二方向上相对的两个边缘形成的厚度比中间部的最大厚度小的两个边缘图案。

发明效果

能够降低在将掩模片熔接于框体后，掩模片的贯通孔相对于框体错位或变形的可能性。

附图说明

图1(a)是表示OLED面板的制造方法的流程图，(b)是表示OLED显示器的结构的剖视图。

图2是表示OLED面板的蒸镀工序的示意图。

图3表示实施方式1的蒸镀掩模，(a)是蒸镀掩模的俯视图，(b)是蒸镀掩模的c－c剖视图，(c)是蒸镀掩模的f－f剖视图，(d)是表示掩模片的铺设方法的俯视图。

图4是表示蒸镀掩模的制作方法的流程图。

图5表示实施方式1的其它蒸镀掩模，(a)是蒸镀掩模的俯视图，(b)是蒸镀掩模的c－c剖视图，(c)是蒸镀掩模的f－f剖视图。

图6表示实施方式1的另一其它蒸镀掩模，(a)是蒸镀掩模的俯视图，(b)是蒸镀掩模的c－c剖视图，(c)是蒸镀掩模的f－f剖视图。

图7表示实施方式2的蒸镀掩模，(a)是蒸镀掩模的俯视图，(b)是蒸镀掩模的c－c剖视图，(c)是蒸镀掩模的f－f剖视图，(d)是表示掩模片的铺设方法的俯视图。

图8表示现有的蒸镀掩模，(a)是蒸镀掩模的俯视图，(b)是蒸镀掩模的c－c剖视图，(c)是蒸镀掩模的f－f剖视图。

具体实施方式

以下，基于图1～图8说明本发明的实施方式。以下，在记载为“相等”的情况下，包含即使不完全相等也是鉴于技术常识或效果等而大致相等或实质上相等的情况。同样，在记载为“一致”的情况下，包含即使不完全一致也是鉴于技术常识或效果等而大致一致或实质上一致的情况。