[发明专利]带电粒子束装置以及试样观察方法

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具有：

带电粒子光学系统，其具有带电粒子源、用于对从上述带电粒子源发射的一次带电粒子束进行聚焦的聚焦透镜、用于将上述一次带电粒子束聚焦到试样上的物镜、用于在上述试样上扫描上述一次带电粒子束的偏转线圈以及检测通过向上述试样照射上述一次带电粒子束而产生的二次带电粒子的检测器；

操作盘，其接收操作者的控制；

图像显示装置，其具有多个显示区域；

控制装置，其与上述操作盘和上述图像显示装置相连接，具有装置控制部和显示控制部；以及

存储装置，其存储由上述带电粒子光学系统拍摄得到的图像数据，

上述装置控制部接收来自上述操作盘的控制并控制上述带电粒子光学系统而获取图像数据，

上述显示控制部将从上述带电粒子光学系统获取的实况图像显示在上述图像显示装置的第一显示区域内，将存储于上述存储装置的比较图像显示在上述图像显示装置的第二显示区域内，将存储于上述存储装置的多个已拍摄图像作为缩小图像而显示在上述图像显示装置的第三显示区域，

上述显示控制部将由上述操作盘选择的上述多个已拍摄图像之一作为上述比较图像，显示在上述第二显示区域，

上述显示控制部在上述第二显示区域显示按钮，所显示的上述按钮从上述操作盘接收第一控制，由此使与上述第一显示区域的尺寸匹配的上述比较图像半透明化，并将重叠在上述实况图像上的重叠图像显示在上述图像显示装置的上述第一显示区域的位置。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述显示控制部将作为第一透射率的上述实况图像的图像数据以及作为与上述第一透射率不同的第二透射率的上述比较图像的图像数据进行合成而生成上述重叠图像的图像数据。

3.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

在上述图像显示装置的上述第一显示区域的位置显示用于显示上述重叠图像的上述第二显示区域。

4.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述显示控制部在上述第一显示区域显示上述重叠图像。

5.根据权利要求2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述按钮从上述操作盘接收第二控制，由此上述显示控制部显示用于调整上述第二透射率的透射率调整工具。

6.根据权利要求2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

针对上述多个已拍摄图像，上述第二透射率被设定为通用的值。

7.一种试样观察方法，使用了带电粒子束装置，该带电粒子束装置具备：操作盘，其接收操作者的控制；图像显示装置，其具有多个显示区域；试样台；带电粒子光学系统；以及存储装置，其存储由上述带电粒子光学系统拍摄得到的图像数据，该试样观察方法的特征在于，

经由子台将试样配置于上述试样台上，

将从上述带电粒子光学系统获取的实况图像显示在上述图像显示装置的第一显示区域，

将存储于上述存储装置的比较图像显示在上述图像显示装置的第二显示区域，

将存储于上述存储装置的多个已拍摄图像作为缩小图像而显示在上述图像显示装置的第三显示区域，

将由上述操作盘选择的上述多个已拍摄图像之一作为上述比较图像，显示在上述第二显示区域，

控制上述子台以对上述试样施加预定作用，

在上述第二显示区域显示按钮，所显示的上述按钮从上述操作盘接收第一控制，由此使与上述第一显示区域的尺寸匹配的上述比较图像半透明化，并将重叠在上述实况图像上的重叠图像显示在上述图像显示装置的上述第一显示区域的位置。

8.根据权利要求7所述的试样观察方法，其特征在于，

将作为第一透射率的上述实况图像的图像数据以及作为与上述第一透射率不同的第二透射率的上述比较图像的图像数据进行合成而生成上述重叠图像的图像数据。