[发明专利]带电粒子束装置以及试样观察方法

说明书

在通过带电粒子束装置进行原位(In situ)观察的情况下，并非带电粒子束装置的专家的观察者需要一边观察监视器一边保持每时每刻都变化的观察视场，因此需要实时地操作性良好地控制视场调整。为使观察者不需要移动视线而使实况图像(100)与比较图像(101)重叠进行显示。此时，想办法设计一个界面而能够使观察者毫无压力地执行两个图像的重叠。观察者通过按下操作画面上的按钮(57)，使与显示实况图像(100)的第一显示区域(52)的尺寸匹配的比较图像(101)半透明化，并将与实况图像(100)重叠的重叠图像(104)显示在图像显示装置的第一显示区域(52)的位置上。

技术领域

本发明涉及带电粒子束装置以及使用了该装置的试样观察方法。

背景技术

以扫描电子显微镜为代表的带电粒子束装置在试样上的期望区域(视场)内扫描带电粒子束，将从该扫描区域发射的带电粒子信号与扫描位置对应地进行记录，由此使观察位置图像化。在专利文献1中公开了以下技术：在长时间连续地获取图像或存储分析结果的数据的情况下，为了保持电子束照射区域为固定而使用图案匹配来校正电子束照射位置。

另一方面，虽然不是与带电粒子束装置有关的技术，但是在专利文献2中公开了以下技术：作为图像处理技术而将静止图像数据与实时地显示的运动图像数据进行合成并显示。为了更高精度地拍摄左右对称的脸部图像，在拍摄左脸图像时，将已经拍摄得到的右脸图像左右反转地与实时地显示的左脸图像进行合成并显示。以实时地显示的左脸图像与左右反转的右脸图像尽可能一致的方式调整脸部角度来进行拍摄，能够更高精度地拍摄左右对称的脸部图像。

在先技术文献

专利文献1：日本特开2016-91893号公报

专利文献2：日本特开2009-61178号公报

发明内容

发明要解决的课题

要观察的试样不会随着时间经过而变化或如专利文献1那样由观察者的操作导致的情况下视场调整费时，因此重视视场调整的严密性，使用图像处理的各种方法将获取到的图像数据的位置偏移数值化，并进行控制。与此相对，对于带电粒子束装置，将对试样加热或施加力学的力而产生的微观的变化进行原位(当场(In situ))观察的需求正在提高。在这种情况下，并非是带电粒子束装置的专家的观察者需要一边观察监视器一边保持每时每刻变化的观察视场，因此需要实时地操作性良好地控制视场调整。

将作为基准的比较图像与观察中的实况图像进行比较而进行视场调整，但是越是在高倍率下进行观察则视场移动越明显，因此为了使观察者不需要移动视线，而认为将两个图像进行重叠显示较有效。因此，期望应用专利文献2所公开的图像处理技术。然而，在专利文献2中也是费时地调整拍摄条件的应用领域，拍摄对象也是脸部这种较大的被摄体。与此相对，在将试样进行原位观察的情况下，观察者要观察在观察视场中产生的变化。并不限定于要以与观察对象相应的尺寸显示在画面上的、实况图像与比较图像以相同显示尺寸显示在画面上。提供一种扫描电子显微镜以及试样观察方法：在这种情况下也在设计界面上下功夫以使观察者能够毫无压力地执行两个图像的重叠，以简单的操作进行视场调整同时观察者能够集中于原位观察。

用于解决可课题的手段