[发明专利]微发光二极管转移方法和制造方法有效
| 申请号： | 201680090520.3 | 申请日： | 2016-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN109891608B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/36 | 分类号： | H01L33/36 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 石伟 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 发光二极管 转移 方法 制造 | ||
1.一种微发光二极管转移方法，包括：
使转移头的拾取单元与承载衬底上的微发光二极管接触，其中所述拾取单元能为微发光二极管加载电流；
通过拾取单元向微发光二极管加载电流，以获得微发光二极管的I-V特性;
基于所述I-V特性确定所述承载衬底上的已知良好管芯的微发光二极管；
通过所述拾取单元将电流选择性地加载到所述已知良好管芯的微发光二极管上以加热所述已知良好管芯的微发光二极管和承载衬底之间的接合层使其熔化；
利用转移头从所述承载衬底上拾取所述已知良好管芯的微发光二极管；
将所述已知良好管芯的微发光二极管接合到接收衬底上；以及
从所述已知良好管芯的微发光二极管移除所述转移头。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述拾取单元包括转移头的转移衬底上的电极和所述电极上的导电粘合剂层；
其中，通过电极和导电粘合剂层加载电流；
其中，通过所述导电粘合剂层拾取所述已知良好管芯的微发光二极管；以及
其中，在将所述已知良好管芯的微发光二极管接合到所述接收衬底上之后，移除所述导电粘合剂层。
3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述导电粘合剂层是未构图的。
4.根据权利要求2或3所述的方法，其中，所述导电粘合剂层是导电光刻胶层，
其中，在加热所述已知良好管芯的微发光二极管与承载衬底之间的接合层期间，所述导电光刻胶层被固化；以及
其中，在所述已知良好管芯的微发光二极管接合到所述接收衬底上之后，用化学方法移除所述导电光刻胶层。
5.根据权利要求1-3中任何一项所述的方法，其中，所述转移头的拾取单元与所述承载衬底上的所述已知良好管芯的微发光二极管柔性接触。
6.根据权利要求1-3中任何一项所述的方法，其中，所述转移头的拾取单元通过静电力或电磁力从所述承载衬底拾取所述已知良好管芯的微发光二极管。
7.根据权利要求1-3中任何一项所述的方法，其中，所述转移头的每个拾取单元包括至少一个拾取电极和至少一个电流加载电极；
其中，所述拾取电极被电介质层包覆；
其中，金属探针安装在所述电流加载电极上，为承载衬底上的所述已知良好管芯的微发光二极管加载电流。
8.根据权利要求1-3中任何一项所述的方法，其中，通过监测所述已知良好管芯的微发光二极管的I-V特性来确定所述已知良好管芯的微发光二极管与承载衬底之间的接合层的熔化。
9.根据权利要求1-3中任何一项所述的方法，其中，经由所述拾取单元将所述电流加载到所述已知良好管芯的微发光二极管的选择位置。
10.一种用于制造微发光二极管器件的方法，包括：使用根据权利要求1-9中任何一项所述的微发光二极管转移方法将所述已知良好管芯的微发光二极管转移到所述微发光二极管器件的接收衬底上。
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