[发明专利]离子分析装置

权利要求书

1.一种离子分析装置，其特征在于，

该离子分析装置包括：

试样载置部，其用于载置试样；

激发束照射部，其从与载置于所述试样载置部的试样的表面垂直的方向对该试样的表面照射激发束；

偏转部，其使自所述试样产生的离子的至少一部分向自所述激发束的照射路径偏离的方向飞行；

分析部，其是离子阱，配置于被所述偏转部偏转了的离子的飞行方向上，根据预定的物理量对该离子进行分离并进行测定；

摄像部，其拍摄所述试样的表面；以及

引出电极，其将产生的离子引出，

所述激发束的中心轴线与从所述试样入射所述摄像部的光路部分重叠，

所述偏转部以如下方式构成：

利用4根杆电极构成，对配置于偏转的离子的飞行路径的内侧的所述杆电极施加与离子极性相反的电压，对配置于离子的飞行路径的外侧的所述杆电极施加与离子极性相同的电压；或者，

在离子的朝向铅垂上方的飞行路径的两侧配置1组平板电极，对位于相对于该飞行路径而言与所述分析部相反的那一侧的所述平板电极施加与离子极性相同的电压，对位于与所述分析部相同的那一侧的所述平板电极施加与离子极性相反的电压，此外，在与该1组平板电极正交的方向上也配置另1组平板电极，对位于所述试样所在的那一侧的所述平板电极施加与离子极性相反的电压，对位于与所述试样相反的那一侧的所述平板电极施加与离子极性相同的电压；或者，

使用1组弯曲状电极，在配置于离子的飞行路径的外侧的所述弯曲状电极的与激光的照射路径相对应的位置形成有开口，在自所述试样引出的离子的飞行路径上配置所述1组弯曲状电极的入口，对位于离子的飞行路径的外侧的所述弯曲状电极施加与离子极性相同的电压，对位于离子的飞行路径的内侧的所述弯曲状电极施加与离子极性相反的电压。

2.根据权利要求1所述的离子分析装置，其特征在于，

所述偏转部包括电压施加部，该电压施加部施加所述与离子极性相反的电压。

3.根据权利要求1所述的离子分析装置，其特征在于，

所述偏转部包括电压施加部，该电压施加部施加所述与离子极性相同的电压。

4.根据权利要求1所述的离子分析装置，其特征在于，

所述试样载置部、所述偏转部以及所述分析部配置于维持在预定的真空度的空间。

5.根据权利要求1所述的离子分析装置，其特征在于，

该离子分析装置还包括：

移动机构，其使所述试样载置部移动。

6.根据权利要求1所述的离子分析装置，其特征在于，

所述激发束是激光。