[发明专利]离子分析装置

说明书

离子分析装置包括：试样载置部(2)，其用于载置试样(1)；激发束照射部(3)，其从与载置于所述试样载置部(2)的试样(1)的表面垂直的方向对该试样(1)的表面照射激发束；偏转部(6)，其使自所述试样(1)产生的离子的至少一部分向自所述激发束的照射路径偏离的方向飞行；以及分析部(8)，其配置于被所述偏转部(6)偏转了的离子的飞行方向上，根据预定的物理量对该离子进行分离并进行测定。

技术领域

本发明涉及质谱分析装置、离子迁移率分析装置等通过照射激光等激发束而自试样产生离子并对该离子进行分析的离子分析装置。

背景技术

作为在质谱分析装置中使用的试样的离子化法之一，有激光离子化(LDI：LaserDesorption/Ionization)法。激光离子化法是通过对试样的表面照射激光并利用该激光的能量激发分子而使该分子离子化的方法，选择性地将存在于试样的表面中的被激光照射的区域的分子离子化。此外，作为激光离子化法之一，有基质辅助激光解吸离子化(MALLDI：Matrix Assisted Laser Desorption/Ionization)法。在基质辅助激光解吸离子化法中，预先在试样的表面涂布易于吸收激光并且易于离子化的物质(基质物质)并使吸入了试样分子的基质物质微晶化，对其照射激光，从而使试样分子离子化。在基质辅助激光解吸离子化等激光解吸离子化法中，对试样表面的测定对象区域照射激光，对自该区域产生的离子进行质谱分析。此外，也能够是，通过使激光的照射区域在试样表面上移动(即利用激光束扫描试样表面)，并且对自各区域释放的离子进行质谱分析，从而进行调查试样表面的具有特定的质量的物质的分布这样的分析。这样的方法被称为成像质谱分析。

在专利文献1中记载了具备使用激光离子化法产生离子的离子源的质谱分析装置的概念结构。如图1所示，作为该质谱分析装置的结构，(仅以框图的方式)仅公开了如下结构，即，在上表面设有光入射窗100且下表面设有离子入射孔112的壳体内，在下方配置有离子光学系统108且在上方配置有质谱分析部104。并且，其使用方法如下。将上述壳体配置为离子入射孔112与载置于试样载置台96的试样110相对，利用光纤98将从激光源92发射的激光导入光入射窗100，使该激光经由离子入射孔112照射试样110。自被照射激光的试样110的表面释放离子，该离子经由离子入射孔112进入到壳体内，利用离子光学系统108将该离子集中并利用质谱分析部104对该离子进行质量分离并进行检测。试样载置台96能够沿着水平方向移动，通过使该试样载置台96移动，能够对试样110表面的测定对象区域照射激光并进行质谱分析。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国发明专利第6639217号说明书

发明内容

发明要解决的问题

如上所述，在专利文献1中仅概念性地记载了质谱分析装置而未公开其具体结构(特别是壳体内部的结构)。如图1所示，在该质谱分析装置的壳体内，对试样110照射的激光的照射路径102与自试样110产生并朝向质谱分析部104去的离子的飞行路径相同，实际上，存在如何在防止两者之间的干涉的前提下对离子进行检测这样的课题。

此处，举例说明了通过照射激光而自试样产生离子的情况，但在通过照射电子束、离子束等激发束而自试样产生离子的情况下，其离子检测也存在同样的问题。此外，在基于自试样产生的离子的迁移率对该离子进行分离并进行测定的离子迁移率分析装置等中也存在同样的问题。本发明是为了解决上述的问题而完成的。

用于解决问题的方案

为了解决上述问题而完成的本发明的离子分析装置的特征在于，

该离子分析装置包括：

a)试样载置部，其用于载置试样；