[发明专利]高效率太阳能电池及高效率太阳能电池的制造方法

说明书

本发明是一种太阳能电池，其特征在于具备：备有具有第1导电型的半导体基板、且在该半导体基板的第1主表面、有与前述第1导电型相反的导电型即第2导电型的发射领域，接在前述发射领域的射极电极，具有前述第1导电型的基极领域，接在前述基极领域的基极电极，与防止前述发射领域与前述基极领域的电性短路的绝缘膜的太阳能电池，前述绝缘膜是由聚酰亚胺所构成；前述绝缘膜在TOF‑SIMS(飞行式二次离子质谱)法将Bi₅++离子以加速电压30kV被0.2pA照射时的C₆H₁₁O₂检出计数为100以下。由此，可以提供耐天候性佳、具有高光电变换特性的太阳能电池。

技术领域

本发明有关高效率太阳能电池及高效率太阳能电池的制造方法。

背景技术

作为使结晶硅太阳能电池的光电变换效率提高的手法，近年，废除受光面的电极而免去电极影子造成光学上损失的所谓的背面电极型太阳能电池受到广泛探讨研究。

图11是显示背面电极型太阳能电池的背面的一例的模式图，此外，图12图示图11的单点虚线A的剖面的一部分。如图11所示，在太阳能电池1100，在半导体基板(例如结晶硅基板)1110的背面(第1主表面)，形成发射领域(发射层)1112。此外，挟着发射领域1112，条状形成基极领域(基极层)1113，在发射领域1112上形成射极电极1122，进而把多个射极电极1122用射极汇流条(发射用汇流条(bus bar)电极)1132连结起来。此外，在基极领域1113上形成基极电极1123，把多个基极电极1123用基极汇流条(基极用汇流条电极)1133连结起来。另一方面，基极电极1123与发射领域1112、及射极电极1122与基极领域1113用绝缘膜(绝缘层)1118而被电性绝缘。此外，如图12所示，太阳能电池1100在半导体基板1110的第1主表面及第2主表面上具备保护膜1119。又，在图11省略保护膜1119。

在被用作绝缘膜的材料，要求化学性安定且可使用温度高、或图案形成容易的特性。从这样的要求而言，在绝缘膜大多使用聚酰亚胺树脂(例如专利文献1)。

太阳能电池的绝缘膜形成，可以通过利用网版印刷或喷墨印刷、或者投放器法将绝缘前驱体(绝缘膜前驱体)涂布到基板来进行。在涂布形成聚酰亚胺树脂的场合的前驱体一般上会使用配合聚酰胺酸的溶液。该场合，通过将聚酰胺酸热处理来进行脱水反应与酰亚胺化，得到聚酰亚胺树脂。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-26858号公报

发明内容

发明所要解决的问题

不过，在将使用由配合聚酰胺酸的前驱体而来的聚酰亚胺树脂的太阳能电池置于高温高湿状态时，常常会出现绝缘体会接触的电极与基板的电性接触恶化的问题。

本发明有鉴于上述问题点而作成，目的在于提供耐天候性佳、具有高光电变换特性的太阳能电池及这样的太阳能电池的制造方法。

供解决问题的手段

为了达成上述目的，本发明是一种太阳能电池，备有具有第1导电型的半导体基板，在该半导体基板的第1主表面，具备：有与前述第1导电型相反的导电型即第2导电型的发射领域，接在前述发射领域的射极电极，具有前述第1导电型的基极领域，接在前述基极领域的基极电极，与防止前述发射领域与前述基极领域的电性短路的绝缘膜的太阳能电池，其特征在于前述绝缘膜是由聚酰亚胺所构成；前述绝缘膜在TOF-SIMS(飞行式二次离子质谱)法将Bi₅++离子以加速电压30kV，0.2pA照射时的C₆H₁₁O₂检出计数为100以下。

根据这样的太阳能电池，则耐天候性佳、具有高光电变换特性。