[其他]薄膜型LC部件以及其安装结构

权利要求书

1.一种薄膜型LC部件，其特征在于，具有：

基板，具有相互对置的第一面以及第二面；

薄膜电容器，通过薄膜工艺形成在上述第一面；

薄膜电感器，通过薄膜工艺形成在上述第二面中的俯视时与上述薄膜电容器至少一部分重叠的区域；

层间连接导体，形成在上述基板，并将上述薄膜电容器和上述薄膜电感器连接；

绝缘层，形成在上述第一面侧，并覆盖上述薄膜电容器；以及

多个端子电极，形成在上述绝缘层的表面，与上述薄膜电容器以及上述薄膜电感器连接，并且与安装基板上的电路连接。

2.根据权利要求1所述的薄膜型LC部件，其特征在于，

上述薄膜电感器以及上述薄膜电容器分别具有第一端和第二端，

上述薄膜电容器的第一端和上述薄膜电感器的第二端连接，

上述多个端子电极由分别与上述薄膜电容器的第一端、上述薄膜电容器的第二端、上述薄膜电感器的第一端连接的至少3个端子电极构成。

3.根据权利要求2所述的薄膜型LC部件，其特征在于，

上述薄膜电感器由分别具有第一端和第二端的多个薄膜电感器构成，

上述多个端子电极包括分别与上述多个薄膜电感器的第一端连接的端子电极。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的薄膜型LC部件，其特征在于，

上述薄膜电容器由与上述第一面平行的第一电极膜、与该第一电极膜对置的第二电极膜、夹设在上述第一电极膜与上述第二电极膜之间的电介质薄膜构成，上述电介质薄膜是钛酸钡锶薄膜。

5.根据权利要求1～3中的任意一项所述的薄膜型LC部件，其特征在于，

包括上述基板、上述薄膜电容器、上述薄膜电感器以及上述绝缘层的整体的厚度为100μm以下。

6.根据权利要求4所述的薄膜型LC部件，其特征在于，

包括上述基板、上述薄膜电容器、上述薄膜电感器以及上述绝缘层的整体的厚度为100μm以下。

7.一种薄膜型LC部件的安装结构，是半导体芯片、电容器以及电感器向安装基板的安装结构，其特征在于，

上述半导体芯片经由凸块被倒置安装在上述基板，

上述电容器以及上述电感器构成为薄膜型LC部件，

上述薄膜型LC部件具有：

基板，具有相互对置的第一面以及第二面；

薄膜电容器，通过薄膜工艺形成在上述第一面；

薄膜电感器，通过薄膜工艺形成在上述第二面中的俯视时与上述薄膜电容器大致重叠的区域；

层间连接导体，形成在上述基板，并将上述薄膜电容器和上述薄膜电感器连接；

绝缘层，形成在上述第一面侧，并覆盖上述薄膜电容器；以及

端子电极，形成在上述绝缘层的表面，并与上述薄膜电容器以及上述薄膜电感器连接，

上述薄膜型LC部件被配置在上述安装基板与上述半导体芯片的间隙，通过上述端子电极与上述安装基板上的电路连接而被安装于上述安装基板。