[发明专利]用于对壁中开口进行真空密封的密封装置

权利要求书

1.一种用于对壁(6)中的开口(4)进行真空密封的密封装置，其包含有：

密封单元(26)，该密封单元具有密封机构(1)和至少一个杆(2)，该密封机构能够平行于纵向调节方向(9)从在该密封装置的打开位置下该密封机构(1)所处于的打开位置调节到中间位置，并能够平行于与该纵向调节方向(9)成直角的横向调节方向(10)从中间位置调节到在该密封装置的关闭状态下该密封机构(1)所处于的关闭位置，所述至少一个杆(2)具有与纵向调节方向(9)相平行的纵轴线(13)，并从该密封装置的壳体(8)中伸出，并在该壳体(8)外部承载该密封机构(1)，并与承载件(14)刚性连接，

传输单元(18)，该传输单元能够由驱动装置(15)在该密封机构(1)处于打开位置时的起始位置、该密封机构(1)处于中间位置时的中部位置、以及该密封机构(1)处于关闭位置时的末端位置之间平行于纵向调节方向(9)来调节，

至少一个弹簧(25)，所述至少一个弹簧设置在该传输单元(18)与该承载件(14)之间，并且所述至少一个弹簧在该传输单元(18)从起始位置调节到中部位置时带动该承载件(14)，其中该承载件(14)相对于该壳体(8)在该纵向调节方向(9)上来进行调节，以及

止挡装置，该止挡装置在该传输单元(18)从中部位置调节到末端位置时阻止该承载件(14)平行于纵向调节方向(9)继续调节，其中该承载件(14)相对于该壳体(8)在横向调节方向(10)上来进行调节，

其特征在于，

该密封装置包含有至少一个纵向线性导向装置(19)和至少一个倾斜线性导向装置(20)，其分别具有导轨(22)和沿该导轨(22)线性能移动地布置的滑架(23)，其中该纵向线性导向装置(19)的导轨(22)平行于纵向调节方向(9)来设置，并且该倾斜线性导向装置(20)的导轨(22)平行于倾斜调节方向(21)来设置，该倾斜调节方向在由该纵向调节方向(9)和横向调节方向(10)所确定的平面中与纵向调节方向(9)成角度并与横向调节方向(10)成角度，其中该传输单元(18)由至少一个纵向线性导向装置(19)相对于该壳体(8)平行于纵向调节方向(9)能移动地被导向，该承载件(14)由至少一个倾斜线性导向装置(20)相对于该传输单元(18)平行于倾斜调节方向(21)能移动地被导向。

2.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述滑架(23)相对于导轨(22)借助滚动体能移动地被设置。

3.根据权利要求1或2所述的密封装置，其特征在于，该止挡装置具有起动弹簧(28)，所述起动弹簧在该密封机构(1)的打开位置中是不加载的并处于初始位置，并且其为了对在该密封装置关闭时该密封单元(26)进行的制动进行衰减而能够变形为工作位置。

4.根据权利要求3所述的密封装置，其特征在于，该起动弹簧(28)具有弹簧臂(28a)，其中该弹簧臂(28a)为了对在该密封装置关闭时该密封单元(26)进行的制动进行衰减而能够由碰到起动弹簧(28)的止挡部件(29)通过弹簧位移而偏转，并在此在该起动弹簧(28)的初始位置中，至少在如下区段中与刚性的支撑部件(30)相间隔：在该区段中该止挡部件(29)在该密封装置关闭时碰到该弹簧臂(28a)上，并在该起动弹簧(28)的工作位置中，该弹簧臂(28a)在该区段中就靠置到该支撑部件(30)上。

5.根据权利要求1或2所述的密封装置，其特征在于，该倾斜调节方向(21)与该纵向调节方向(9)夹了小于45°的角(24)。

6.根据权利要求1或2所述的密封装置，其特征在于，该倾斜调节方向(21)与该纵向调节方向(9)夹了大于4°的角(24)。

7.根据权利要求1或2所述的密封装置，其特征在于，该倾斜调节方向(21)与该纵向调节方向(9)夹了角(24)，该角处于5°至20°的范围中。

8.根据权利要求1或2所述的密封装置，其特征在于，该杆(2)的纵轴线(13)在两侧分别设置有纵向线性导向装置(19)并分别设置有倾斜线性导向装置(20)。

9.根据权利要求1或2所述的密封装置，其特征在于，该传输单元(18)、该承载件(14)、所述至少一个纵向线性导向装置(19)和所述至少一个倾斜线性导向装置(20)设置在该壳体(8)的内部空间中。