[发明专利]用于对壁中开口进行真空密封的密封装置

说明书

密封装置包含有密封机构和杆，杆从密封装置的壳体中伸出，并在壳体外部带动该密封机构，并与承载件相刚性连接，密封装置还包含有传输单元，其可以由驱动装置在密封机构处于打开位置时的起始位置、密封机构处于中间位置时的中部位置、以及密封机构处于关闭位置时的末端位置之间平行于纵向调节方向来调节，密封装置还包含有弹簧，该弹簧设置在该传输单元与承载件之间，以及密封装置还包含有止挡装置，止挡装置在传输单元从中间位置调节到末端位置时阻止承载件平行于纵向调节方向继续调节。传输单元由纵向线性导向装置相对于壳体平行于纵向调节方向可移动地来输送，并且承载件由倾斜线性导向装置相对于传输单元平行于倾斜调节方向可移动地来输送。

技术领域

本发明涉及一种用于对壁中开口进行真空密封的密封装置，其包含有密封单元，该密封单元具有密封机构和至少一个杆，该密封机构可以平行于纵向调节方向从在该密封装置的打开位置下该密封机构所处的打开位置调节到中间位置，并可以平行于与该纵向调节方向成直角的横向调节方向从中间位置调节到在该密封装置的关闭状态下该密封机构所处于的关闭位置，所述至少一个杆具有与纵向调节方向相平行的纵轴线，并从该密封装置的壳体中伸出，并在该壳体外部承载该密封机构，并与承载件相刚性连接，该密封装置还包含有传输单元，该传输单元可以由驱动装置在该密封机构处于打开位置时的起始位置、该密封机构处于中间位置时的中部位置、以及该密封机构处于关闭位置时的末端位置之间平行于纵向调节方向来调节，该密封装置还包含有至少一个弹簧，所述至少一个弹簧设置在该传输单元与该承载件之间，并且所述至少一个弹簧在该传输单元从起始位置调节到中部位置时带动该承载件，其中该承载件相对于该壳体在该纵向调节方向上来进行调节，并且该密封装置包含有止挡装置，该止挡装置在该传输单元从中间位置调节到末端位置时阻止该承载件平行于纵向调节方向继续调节，其中该承载件相对于该壳体在横向调节方向上来进行调节。

背景技术

一种用于对壁中开口进行真空密封的密封装置也可以被称作真空阀。如果开口位于真空室的壁中，并且该密封机构位于围绕该真空室的环境空间中室壁的外侧，那么这种真空阀也被称作真空门。以真空门形式的这种密封装置可以针对仅在一个方向上作用的压差来设计。其他种类的真空阀通常针对在两个方向上作用的压差来设计。在这种密封装置中该密封机构一般设置在阀壳体中，其中该阀壳体具有可由该密封机构密封的阀开口。

在密封装置中，为了关闭开口，该密封机构首先在与杆平行的纵向调节方向上从打开位置调节到中间位置，在该中间位置中该密封机构覆盖该开口，但还从壁中抬起，并接着在至少基本垂直于纵向调节方向的横向调节方向上被调节，并被压到壁上，该密封装置也被称作L阀。

在与L阀不同类的构造方法中，该杆围绕与纵向调节方向垂直的轴线可枢转地布置，以能够使该密封机构从其中间位置调节到其关闭位置并返回。在此采用轴承滚道以使该杆围绕该轴线旋转，这比如在US 6,237,892 B1、US7,066,443 B2或US 2012/0258242 A1中被公开。

在L阀中，其中为了在中间位置与关闭位置之间调节该密封机构，该密封机构在与纵向调节方向成角度的、尤其垂直的横向调节方向上进行平行移动，根据一种常规的实施方式，在支撑该密封机构的支撑单元上设置有驱动元件，以在中间位置与该关闭位置之间调节该密封机构，其中该支撑单元设置于杆上。这种L阀、尤其以真空门形式的实施比如参见US 6,056,266 A、US 6,899,316 B2和US 7,611,122 B2。在US 6,056,266 A和US 7,611,122 B2中其中还公开了顺序控制，以保证该活塞-气缸单元操作的正确流程。US 8,177,190B2公开了L阀的这样的另外一种顺序控制。

在WO 2010/034046 A1中公开了一种L阀，其中在与纵向调节方向相垂直的横向调节方向上线性可移动地支撑有一个块，该块在纵向调节方向上可移动地支撑了该杆，在该块上还设置有驱动装置，以在纵向调节方向上调节该杆。借助在该方向上作用的活塞-气缸单元来进行这种线性移动。