[发明专利]基板检测装置、显示面板加工系统及显示面板加工方法在审
申请号: | 201710010362.2 | 申请日: | 2017-01-06 |
公开(公告)号: | CN106597709A | 公开(公告)日: | 2017-04-26 |
发明(设计)人: | 王轩 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G01N21/95;G01N21/958 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 装置 显示 面板 加工 系统 方法 | ||
1.一种基板检测装置,其特征在于,用于检测一卡夹载具(40)中的多片基板(10)是否出现破片,其中该多片基板(10)相互平行地从下往上排列于该卡夹载具(40)中;该基板检测装置包括两组检测单元(20);
每一组检测单元(20)均包括产生光波的光波发生部件(21)、及与所述光波发生部件(21)匹配的光波接收部件(22);
所述两组检测单元(20)中,一组检测单元(20)的光波发生部件(21)、光波接收部件(22)分别对应所述基板(10)两相对侧边的两侧设置,另外一组检测单元(20)的光波发生部件(21)、光波接收部件(22)分别对应所述基板(10)另外两相对侧边的两侧设置;每一组检测单元(20)的检测范围覆盖所述基板(10)上其所对应的两侧边;
所述检测单元(20)为导轨式,所述检测单元(20)通过上下移动对该多片上下排列的基板(10)依次进行检测。
2.如权利要求1所述的基板检测装置,其特征在于,还包括对应基板(10)四个角设置的四根竖直的支撑柱(25),每一光波发生部件(21)的两端分别滑动连接于对应的两支撑柱(25)上,每一光波接收部件(22)的两端分别滑动连接于对应的两支撑柱(25)上。
3.如权利要求1所述的基板检测装置,其特征在于,每一组检测单元(20)还包括与所述光波接收部件(22)连接的结果输出部件(23)。
4.如权利要求3所述的基板检测装置,其特征在于,所述结果输出部件(23)为与同所述卡夹载具(40)协同工作的机械臂(50)相连接的控制装置,所述控制装置根据检测结果以及预置策略控制所述机械臂(50)动作。
5.一种显示面板加工系统,其特征在于,包括用于对基板(10)进行加工的主制程设备(60)、设置于主制程设备(60)一侧对基板(10)进行搬运的机械臂(50)、设置于主制程设备(60)一侧在对基板(10)进行加工前对基板(10)进行检测的基板检测装置(2)、及用于承载多片基板(10)并将该多片基板(10)相互平行地从下往上排列的卡夹载具(40);
所述基板检测装置(2)包括两组检测单元(20);
每一组检测单元(20)均包括产生光波的光波发生部件(21)、与所述光波发生部件(21)匹配的光波接收部件(22)、及与所述光波接收部件(22)连接的结果输出部件(23);
所述两组检测单元(20)中,一组检测单元(20)的光波发生部件(21)、光波接收部件(22)分别对应所述基板(10)两相对侧边的两侧设置,另外一组检测单元(20)的光波发生部件(21)、光波接收部件(22)分别对应所述基板(10)另外两相对侧边的两侧设置;每一组检测单元(20)的检测范围覆盖所述基板(10)上其所对应的两侧边;
所述检测单元(20)为导轨式,所述检测单元(20)通过上下移动对该多片上下排列的基板(10)依次进行检测;
所述结果输出部件(23)为与所述机械臂(50)相连接的控制装置,所述控制装置根据检测结果以及预置策略控制所述机械臂(50)动作。
6.如权利要求5所述的显示面板加工系统,其特征在于,所述基板检测装置(2)还包括四根竖直的支撑柱(25),每一光波发生部件(21)的两端分别滑动连接于对应的两支撑柱(25)上,每一光波接收部件(22)的两端分别滑动连接于对应的两支撑柱(25)上。
7.如权利要求5所述的显示面板加工系统,其特征在于,所述基板检测装置(2)在对卡夹载具(40)上承载的多片基板(10)依次进行检测的过程中,对于检测结果为合格的基板(10),所述结果输出部件(23)控制所述机械臂(50)将合格的基板(10)搬运到主制程设备(60)中。
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