[发明专利]一种显示基板、显示装置及显示基板的制作方法

权利要求书

1.一种显示基板，其特征在于，包括栅极、位于栅极之上的有源层，以及位于有源层之上的源极、漏极和数据线，其中，所述源极具有凹形口，所述漏极与所述源极相对设置且具有伸入所述凹形口的条状部，所述凹形口与条状部的间隙形成U形沟道，所述数据线搭接于源极远离凹形口的一端。

2.如权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述源极、漏极和数据线采用SSM掩模板制作。

3.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求1或2所述的显示基板。

4.一种显示基板的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

在基板之上形成栅极的图形；

在栅极之上形成栅极绝缘层；

在栅极绝缘层之上形成有源层、数据线以及相对设置且形成U形沟道源极和漏极的图形。

5.如权利要求4所述的制作方法，其特征在于，所述在栅极绝缘层之上形成有源层、数据线以及相对设置且形成U形沟道的源极和漏极的图形，具体包括：

在栅极绝缘层上沉积有源层和数据线层；

在数据线层之上形成光刻胶；

采用具有全透光区、半透光区和遮光区的SSM掩模板对基板进行曝光，其中，全透光区与基板上预形成数据线的区域位置相对，半透光区与基板上预形成U形沟道的区域位置相对，遮光区与基板上预形成源极和漏极的区域位置相对；

对基板进行显影并刻蚀出数据线；

对基板进行灰化并刻蚀出有源层；

对基板进行刻蚀形成相对设置且形成U形沟道的源极和漏极。