[发明专利]一种基板承载机构及其使用方法、蒸镀装置

权利要求书

1.一种基板承载机构，其特征在于，包括，

支撑架；

承载件，所述承载件包括位于所述承载件前端的承载面，用于搭载待蒸镀基板的边缘，所述承载件的后端与所述支撑架固定连接；

下压件，所述下压件的至少一部分设置于所述承载件的承载面之上，所述下压件在下压状态下可将所述待蒸镀基板的边缘压紧在所述承载件的承载面上；

所述下压件的后端与所述承载件的后端固定连接，所述下压件由弹性材料制成，所述下压件的前端在自由状态下与所述承载件的前端之间留有用于置入所述待蒸镀基板边缘的间隙，所述下压件的前端在下压状态下将 所述蒸镀基板的边缘压紧；

还包括拉伸部件，所述拉伸部件连接设置在所述支撑架的后端，用于拉动所述支撑架向后移动。

2.根据权利要求1所述的基板承载机构，其特征在于，所述承载件设置有一个，所述承载件的承载面沿所述支撑架的长度方向延伸为条状；

和/或，所述下压件设置有一个，所述下压件沿所述支撑架的长度方向延伸为条状。

3.根据权利要求1所述的基板承载机构，其特征在于，在所述承载件的承载面上设置有防滑结构；

和/或，在所述下压件与所述待蒸镀基板边缘相接触的表面设置有防滑结构。

4.根据权利要求1所述的基板承载机构，其特征在于，还包括驱动装置，所述驱动装置驱动所述下压件向所述承载件的承载面移动。

5.根据权利要求4所述的基板承载机构，其特征在于，所述驱动装置沿所述支撑架的长度方向设置有多个。

6.一种基板承载机构的使用方法，其特征在于，包括，

将待蒸镀基板放置在承载件上，其中，所述待蒸镀基板的边缘搭载在所述承载件的承载面上；

向下移动下压件将所述待蒸镀基板的边缘压紧；

当所述下压件由弹性材料制成，且所述下压件的后端与所述承载件的后端固定连接时，所述向下移动下压件将所述待蒸镀基板的边缘压紧包括，向下移动所述下压件的前端将所述待蒸镀基板的边缘压紧；

所述向下移动下压件将所述待蒸镀基板的边缘压紧之后，所述使用方法还包括，向后移动拉伸部件以拉动支撑架向后移动。

7.一种蒸镀装置，包括蒸镀腔室，其特征在于，还包括如权利要求1-5任一项所述的基板承载机构，所述基板承载机构设置有至少一组，其中，每一组设置有两个，且以相对的方向固定连接在所述蒸镀腔室内。