[发明专利]蒸发源、沉积设备以及用于蒸发有机材料的方法

权利要求书

1.一种用于有机材料的蒸发源，包含：

蒸发坩锅，其中所述蒸发坩锅配置成蒸发所述有机材料；

分布管，具有多个出口，其中所述分布管与所述蒸发坩锅流体地连通，所述分布管提供基本上竖直延伸的线源并且在蒸发期间可绕基本上竖直延伸的轴旋转，其中所述分布管能够从第一基板旋转180°至第二基板，且其中所述分布管和所述蒸发坩埚安装成可一起旋转；

用于所述分布管(106)的支撑件(102)，其中所述支撑件(102)可连接至第一驱动器或包含所述第一驱动器，其中所述第一驱动器配置成用于所述支撑件和所述分布管的平移运动；以及

至少一个侧面防护罩，用于防护所述有机材料，其中所述至少一个侧面防护罩固定地安装成不与所述分布管一起旋转，且其中所述至少一个侧面防护罩配置成跟随所述支撑件和所述分布管的所述平移运动。

2.根据权利要求1所述的蒸发源，其中所述至少一个侧面防护罩包含进一步的侧面防护罩。

3.根据权利要求1至2中任一项所述的蒸发源，其中所述至少一个侧面防护罩配置成将有机材料的蒸发限定在朝向基板的方向上。

4.根据权利要求1至2中任一项所述的蒸发源，其中所述至少一个侧面防护罩配置成用于空闲模式中的侧向蒸发。

5.根据权利要求1至2中任一项所述的蒸发源，其中所述分布管能够朝向所述侧面防护罩旋转，以避免蒸气离开所述蒸发源。

6.根据权利要求1至2中任一项所述的蒸发源，进一步包括：

蒸发器控制外壳，其中所述分布管可通过所述蒸发器控制外壳的旋转而旋转。

7.根据权利要求1至2中任一项所述的蒸发源，其中所述蒸发坩埚安装在所述蒸发器控制外壳上。

8.根据权利要求7所述的蒸发源，其中所述分布管、所述蒸发坩埚和所述蒸发器控制外壳可一起旋转。

9.根据权利要求1至2中任一项所述的蒸发源，其中所述分布管提供蒸气分布喷头，并且所述蒸气分布喷头是线性的蒸气分布喷头。

10.根据权利要求1至2中任一项所述的蒸发源，其中所述分布管通过第二驱动器可绕着所述轴旋转，所述第二驱动器相对于所述支撑件旋转所述分布管。

11.根据权利要求10所述的蒸发源，其中所述支撑件包含支撑件外壳，配置成维持所述支撑件外壳中的大气压，且其中所述支撑件经由可旋转的真空馈通件支撑所述分布管。

12.根据权利要求1至2中任一项所述的蒸发源，还包含：

至少一个第二蒸发坩锅，由所述支撑件支撑；以及

至少一个第二分布管，由所述支撑件支撑，其中所述至少一个第二分布管与所述至少一个第二蒸发坩锅流体地连通。

13.根据权利要求1至2中任一项所述的蒸发源，其中所述侧面防护罩在所述分布管的旋转期间防护所述有机材料。

14.一种用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积设备，包含：

所述真空腔室；

根据权利要求1至13中任一项所述的蒸发源，其中所述蒸发源在所述真空腔室中蒸发所述有机材料；以及

基板支撑件系统，设置在所述真空腔室中并具有至少二个轨道，其中所述基板支撑件系统的至少两个轨道配置成用于在所述真空腔室中对所述基板或载运基板的载具的基本上竖直的支撑。

15.根据权利要求14所述的沉积设备，其中所述至少一个侧面防护罩配置成将有机材料的蒸发限定在朝向所述基板的方向上。