[发明专利]蒸发源、沉积设备以及用于蒸发有机材料的方法

说明书

描述了一种用于有机材料的蒸发源。所述蒸发源包括蒸发坩埚，其中所述蒸发坩埚配置成蒸发所述有机材料；具有一个或多个出口的分布管，其中所述分布管与所述蒸发坩埚流体地连通，并且其中所述分布管可在蒸发期间绕轴旋转；以及用于防护所述有机材料的至少一个侧面防护罩。

本申请是申请日为2013年12月10日的、申请号为“201380081500.6”的、发明名称为“用于有机材料的蒸发源、具有用于有机材料的蒸发源的设备、具有带有用于有机材料的蒸发源的蒸发沉积设备的系统、以及操作用于有机材料的蒸发源的方法”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明的实施例涉及有机材料的沉积、用于有机材料的源以及用于有机材料的沉积设备。本发明的实施例尤其涉及用于有机材料的蒸发源、用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积设备以及用于沉积有机材料的方法。

背景技术

有机蒸发器是一种用于有机发光二极管(OLED)的生产的工具。OLED是一种特殊类型的发光二极管，其中发射层包括某些有机化合物的薄膜。有机发光二极管(OLED)用在电视屏幕、计算机监视器、移动电话、其他手持装置等的制造以用于显示信息。OLED也可用于一般的空间照明。由于OLED像素直接发射光且不要求背光，OLED显示器可能的颜色、亮度和视角的范围大于传统LCD显示器的范围。因此，OLED显示器的能耗大幅低于传统LCD显示器的能耗。此外，OLED可被制造在柔性基板上的事实带来了进一步的应用。例如，典型的OLED显示器可包含位于两个电极之间的多个有机材料层，所述多个有机材料层以形成具有可独立供能的像素的矩阵显示面板的方式而全都沉积在基板上。OLED一般被放置在两个玻璃面板之间，并且密封所述玻璃面板的边缘以将OLED封装于其中。

在这类显示器装置的制造中遇到很多挑战。在一个示例中，具有将OLED封装在两个玻璃面板之间来防止可能的装置污染所需的许多劳动密集型步骤。在另一个示例中，不同尺寸显示器屏幕以及由此产生的不同尺寸的玻璃面板可能要求基本上重新配置用于形成显示器装置的工艺和工艺硬件。总体上，存在对在大面积基板上制造OLED装置的期望。

在大规模OLED显示器的制造中，带来各种挑战的一个步骤是对基板的掩模，例如用于沉积图案化的层。另外，已知的系统典型地具有小的总材料利用率，例如小于50％。

因此，对于用于形成OLED显示器装置的新的、改进的设备和方法，存在持续的需要。

发明内容

鉴于上述内容，提供一种用于有机材料的改进的蒸发源、用于蒸发有机材料的改进的沉积设备以及蒸发有机材料的方法。通过从属权利要求、描述和附图，本发明的实施例的进一步的方面、优点和特征将变得显而易见。

根据一个实施例，提供了用于有机材料的蒸发源。所述蒸发源包含：蒸发坩锅，其中所述蒸发坩锅配置成蒸发所述有机材料；具有一个或更多个出口的分布管，其中所述分布管与所述蒸发坩锅流体地连通，并且其中所述分布管在蒸发期间可绕轴旋转；以及用于防护所述有机材料的至少一个侧面防护罩。

根据另一实施例，提供了用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积设备。所述沉积设备包含：所述真空腔室；根据本文描述的实施例的蒸发源，其中所述蒸发源在所述真空腔室中蒸发所述有机材料；以及基板支撑系统，设置在所述真空腔室中并且具有至少两个轨道，其中所述基板支撑系统的至少两个轨道配置成用于在所述真空腔室中对所述基板或携载所述基板的载具的基本上竖直的支撑。

根据又一实施例，提供用于蒸发有机材料的方法。所述方法包含以下步骤：将第一基板移动到基本上竖直的第一处理位置中；当蒸发源蒸发所述有机材料时，至少利用平移移动、沿第一基板来移动所述蒸发源；将所述第二基板移动到基本上竖直的第二处理位置中，所述第二处理位置与所述第一处理位置不同；在蒸发期间绕轴旋转蒸发源的分布管；利用至少一个侧面防护罩来防护所述有机材料的蒸发；以及当所述蒸发源蒸发所述有机材料时，至少利用进一步的平移移动、沿所述第二基板来移动所述蒸发源。

附图说明