[发明专利]包括薄膜晶体管阵列面板的显示装置及其制造方法有效
申请号: | 201710019900.4 | 申请日: | 2017-01-11 |
公开(公告)号: | CN106960850B | 公开(公告)日: | 2023-05-23 |
发明(设计)人: | 徐泰安;裴水斌;丁有光;赵炫珉;崔新逸;崔溱桓 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/84 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 刘灿强;陈晓博 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 包括 薄膜晶体管 阵列 面板 显示装置 及其 制造 方法 | ||
1.一种包括薄膜晶体管阵列面板的显示装置,所述显示装置包括:
第一基底;
第一电极,设置在所述第一基底上;
第一绝缘层,包括第一孔,所述第一绝缘层设置在所述第一电极上;
第二绝缘层,设置在所述第一绝缘层上并且包括与所述第一孔对应的第二孔;以及
盖层,包括第一内部部分,设置在形成所述第二绝缘层的所述第二孔的内侧表面上,并且所述第一内部部分与所述内侧表面接触,
其中,所述第一内部部分的与所述第一孔对应的部分被去除,并且所述第一内部部分的设置在所述第二孔中的端部与所述第一电极分开。
2.根据权利要求1所述的显示装置,其中:
所述第二孔的平面尺寸大于所述第一孔的平面尺寸。
3.根据权利要求2所述的显示装置,其中:
所述盖层包括设置在所述第二绝缘层的上表面上并且与所述第一内部部分连接的上部部分。
4.根据权利要求3所述的显示装置,所述显示装置还包括:
导体,设置在所述盖层上并且通过所述第一孔和所述第二孔与所述第一电极连接。
5.根据权利要求4所述的显示装置,其中:
所述上部部分包括与所述导体叠置的至少一部分以及不与所述导体叠置的部分。
6.根据权利要求5所述的显示装置,所述显示装置还包括:
第三绝缘层,设置在所述第一绝缘层与所述第二绝缘层之间,并且包括与所述第一孔和所述第二孔对应的第三孔;以及
第二电极,设置在所述第一绝缘层和所述第三绝缘层之间,
其中,所述第三绝缘层还包括设置在所述第二电极上的第四孔,
其中,所述第二绝缘层还包括与所述第四孔对应的第五孔,
其中,所述盖层还包括位于形成所述第五孔的内侧表面上的第二内部部分。
7.根据权利要求5所述的显示装置,其中:
所述盖层包括设置在所述第二绝缘层的上表面上的切口。
8.根据权利要求1所述的显示装置,其中:
所述第一内部部分的设置在所述第二孔中的厚度不均匀。
9.根据权利要求8所述的显示装置,其中:
所述第二绝缘层的形成所述第二孔的所述内侧表面包括其上设置有所述第一内部部分的第一表面和面对所述第一表面的第二表面,
其中,所述盖层不设置在所述第二表面上。
10.根据权利要求8所述的显示装置,其中:
所述第一内部部分的厚度在更接近于所述第一基底处更薄。
11.根据权利要求9所述的显示装置,其中:
所述盖层还包括设置在所述第二绝缘层的上表面上并且与所述第一内部部分连接的上部部分。
12.根据权利要求11所述的显示装置,所述显示装置还包括:
导体,设置在所述盖层上并且通过所述第一孔与所述第一电极连接,
其中,所述导体覆盖所述上部部分的上表面。
13.根据权利要求1所述的显示装置,其中:
所述盖层不设置在所述第一绝缘层的形成所述第一孔的内侧表面上。
14.一种用于制造包括薄膜晶体管阵列面板的显示装置的方法,所述方法包括:
在第一基底上形成第一电极;
在所述第一电极上形成第一绝缘层;
在所述第一绝缘层上形成第二绝缘层;
在所述第二绝缘层中形成第一孔;
在所述第二绝缘层上形成盖层;
去除所述盖层的设置在所述第一孔中的一部分;以及
通过去除与所述盖层的在所述第一孔中的去除部分对应的所述第一绝缘层形成与所述第一孔对应的第二孔。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的