[发明专利]微机械压力传感器有效
| 申请号： | 201710022540.3 | 申请日： | 2017-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN107032296B | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | F·格拉巴迈尔;E·舍尔克斯;T·林德曼 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;G01L7/08;B81B7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机 压力传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于制造压力传感器(405)的方法，其中，所述方法包括以下步骤：
-提供具有凹部(110)的基底(105)；
-将微机械传感器元件(115)在所述基底(105)上置于所述凹部(110)中；
-将分析电路(120)在所述基底(105)上置于所述凹部(110)旁边；
-将所述分析电路(120)与所述传感器元件(115)电连接；
-借助于浇铸模(205)围绕所述凹部(110)覆盖所述基底(105)，使得所述凹部(110)封闭；
-浇铸在所述基底(105)和所述浇铸模(205)之间的分析电路(120)；并且
-移除所述浇铸模(205)。
2.一种浇铸模(205)，其用于借助根据权利要求1所述的方法制造压力传感器(405)，其中，所述浇铸模(205)设置用于围绕所述凹部(110)贴靠在所述基底(105)上并且在所述分析电路(120)的周围和上方空出预给定区域(210)。
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