[发明专利]用于多重图案化技术的设计规则检查的方法和系统有效

专利信息
申请号: 201710023966.0 申请日: 2017-01-13
公开(公告)号: CN107145618B 公开(公告)日: 2021-02-26
发明(设计)人: 徐孟楷;侯元德;陈文豪 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: G06F30/398 分类号: G06F30/398;G06F119/18
代理公司: 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;李伟
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 用于 多重 图案 技术 设计 规则 检查 方法 系统
【权利要求书】:

1.一种用于多重图案化技术的设计规则检查的方法,包括:

确定是否存在表示集成电路(IC)的布局的多重图案化的图案的至少五个邻近的图案中的任意两个之间的每一个间隔都小于阈值间隔的冲突图形;以及

如果存在所述冲突图形,则修改所述多重图案化的图案以排除由所述冲突图形表示的图案,以用于所述集成电路的制造,

其中,确定是否存在所述冲突图形包括:确定所述冲突图形是否包括子图,其中,所述子图表示两个邻接的单元的至少一个中的四重图案化的图案的三个邻近的图案中的任意两个之间的每一个间隔都小于所述阈值间隔。

2.根据权利要求1所述的方法,其中,通过将要被分配至四个不同掩模的所述四重图案化的图案来实施所述多重图案化的图案。

3.根据权利要求1所述的方法,其中,所述四重图案化的图案着四种颜色。

4.根据权利要求1所述的方法,其中,如果所述冲突图形包括所述子图,则所述方法还包括:

确定是否沿着和/或与所述两个邻接的单元之间的边界并行地构建将四重图案化的图案的三个邻近的图案彼此连接的边中的一条。

5.根据权利要求1所述的方法,其中,如果所述冲突图形包括所述子图,则所述方法还包括:

确定所述两个邻接的单元之间的边界上的在所述两个邻接的单元的一个中将四重图案化的图案的三个邻近的图案彼此连接的边的至少一个突出是否与同一边界上的在所述两个邻接的单元的另一个中将四重图案化的图案的三个邻近的图案彼此连接的边的至少一个突出重叠。

6.根据权利要求1所述的方法,其中,修改所述多重图案化的图案包括:

在两个邻接的单元中,将多重图案化的图案的至少两个最近的图案彼此间隔开,间隔等于或大于所述阈值间隔。

7.根据权利要求1所述的方法,其中,修改所述多重图案化的图案包括:

将每一个都包括通过每一条都具有比所述阈值间隔小的间隔的边彼此连接的三个邻近的四重图案化的图案的两个邻接的单元彼此间隔开。

8.一种用于多重图案化技术的设计规则检查的系统,包括:

存储器件,配置为存储计算机程序代码;以及

处理器,配置为执行所述存储器件中的计算机程序代码以用于:

基于与集成电路(IC)的布局对应的数据,建立表示多重图案化的图案的图形;

检查所述图形是否包括表示所述多重图案化的图案的至少五个邻近的图案中的任意两个之间的每一个间隔都小于阈值间隔的子图;以及

当所述图形包括所述子图时,修改所述图形以排除所述子图,以用于所述集成电路的制造,

其中,对于检查所述图形是否包括所述子图,所述处理器还配置为执行所述计算机程序代码以用于:

在所述布局内的两个邻接的单元中检查所述图形是否包括所述子图,其中,所述处理器还配置为执行所述计算机程序代码以用于:

确定所述图形是否包括第一子图,其中,所述第一子图表示所述两个邻接的单元的至少一个中的四重图案化的图案的三个邻近的图案中的任意两个之间的每一个间隔都小于所述阈值间隔。

9.根据权利要求8所述的系统,其中,对于建立所述图形,所述处理器还配置为执行所述计算机程序代码以用于:在所述布局内的每一个单元中或在所述布局内的邻接的单元中建立表示所述四重图案化的图案的图形。

10.根据权利要求8所述的系统,其中,所述四重图案化的图案被分配至四个不同的掩模。

11.根据权利要求10所述的系统,其中,所述四重图案化的图案着四种颜色。

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