[发明专利]卡盘工作台

权利要求书

1.一种卡盘工作台，其设置在对板状的被加工物进行加工的加工装置中，对被加工物单元进行保持，该被加工物单元由该被加工物、围绕该被加工物的环状的框架以及粘贴在该被加工物和该框架上的粘合带构成，该卡盘工作台的特征在于，

其具有：

主体部，其具有在上表面的中央部形成开口的框体和嵌入在该框体的该开口内的吸引板，该吸引板的上表面成为隔着该粘合带对该被加工物进行吸引保持的保持面；以及

框架支承部，其设置于该主体部的框体的侧面，在该主体部的外侧对该框架进行支承，

该框架支承部形成为从该主体部的框体的侧面的比该保持面低的位置向外侧延伸，在该框架支承部与该保持面之间形成与该粘合带之间产生间隙的阶差并且该框架支承部的外径比该框架的外径小，

当将该框架重叠在该框架支承部上以使该框架的外缘向该框架支承部的外侧探出时，该主体部和该框架支承部的上表面整体由该被加工物单元覆盖。

2.根据权利要求1所述的卡盘工作台，其特征在于，

该框架支承部还具有磁力产生部，在该框架由强磁性材料形成的情况下，该框架支承部借助磁力对该框架进行吸附而保持。

3.根据权利要求1或2所述的卡盘工作台，其特征在于，

该框架支承部的一部分被切除。