[发明专利]真空贴膜装置及方法有效
申请号: | 201710031269.X | 申请日: | 2017-01-17 |
公开(公告)号: | CN108321097B | 公开(公告)日: | 2021-02-19 |
发明(设计)人: | 陈杰;廖俊旭;吴秉霖;王秀文 | 申请(专利权)人: | 行家光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L33/50 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人: | 章社杲;李伟 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 装置 方法 | ||
1.一种真空贴膜装置,包含:
一真空腔室模组,包含一腔体及一真空系统的控制器件,该腔体定义有一容置空间,该控制器件连接至该腔体,以控制该容置空间内的压力;
一压膜模组,连接该腔体、且包含一压膜板及一垂直移动杆,该垂直移动杆包含一上端及一下端,该压膜板设置于该垂直移动杆的该下端,该压膜板经由垂直移动杆可于该容置空间内垂直地移动;
一承载模组,连接该腔体、且包含一承载盘及一弹簧器件,其中该承载盘设置于该弹簧器件上,且具有一初始位置,该承载盘在被压膜而致动前是与该压膜板保持一第一初始距离,且该承载盘是设置成可承载一膜片与一待贴膜件,该膜片与该待贴膜件彼此相隔一第二初始距离,且该膜片及该待贴膜件的至少其中一者上已设置有一接合胶;以及
一加热平台,设置且固定于该容置空间内、并与被致动前的该承载盘保持一第三初始距离;
其中,该承载盘是设置成可于该容置空间内被该压膜板向下压膜而致动,并在真空状态下,可先使该膜片与该待贴膜件经由该接合胶相贴合;
其中,相贴合的该膜片、该待贴膜件与该承载盘继续被该压膜板向下压膜,使其继续向下致动以接触该加热平台;
其中,该加热平台是设置成可当接触到被压膜而致动后的该承载盘者时,支撑且加热该承载盘,以使该膜片与该待贴膜件之间的该接合胶被加热固化;
其中,该弹簧器件是设置成可支撑位于该加热平台上方且相距该第三初始距离的该承载盘,且于该承载盘被向下致动时储存一弹簧位能;以及
其中,该弹簧器件更设置成可于该压膜板向上移动后,可由先前压合时储存的该弹簧位能释放而将该承载盘向上致动并回复至该初始位置。
2.根据权利要求1所述的真空贴膜装置,其中,该压膜模组更包含一球面轴承,该压膜板通过该球面轴承设置于该垂直移动杆的该下端。
3.根据权利要求1所述的真空贴膜装置,其中,该真空腔室模组包含一气密滑动轴承,该垂直移动杆的该上端位于该容置空间外,并通过该气密滑动轴承而使该下端位于该容置空间内。
4.根据权利要求1所述的真空贴膜装置,其中,该压膜板包含一缓冲层。
5.根据权利要求1所述的真空贴膜装置,其中,该真空腔室模组更包含一活动门,该活动门设置于该腔体的一开口侧、且可活动地使该开口侧闭合。
6.根据权利要求5所述的真空贴膜装置,其中,该承载模组更包含一滑轨器件,该承载盘设置于该滑轨器件上,以于该容置空间内水平地滑动及通过该开口侧水平地滑动至该腔体外。
7.根据权利要求1至6任一项所述的真空贴膜装置,更包含一控制模组,该控制模组设置成可控制与协调该真空腔室模组、该压膜模组、该承载模组与该加热平台的作动。
8.一种真空贴膜方法,包含:
使一膜片与一待贴膜件于一腔体的一容置空间内保持分离,其中该膜片及该待贴膜件的至少其中一者上已设置有一接合胶;
抽气使该容置空间至一真空状态;
在该真空状态下,致动该膜片,使该膜片与该待贴膜件经由该接合胶相贴合;以及
持续致动该膜片,使相贴合的该膜片与该待贴膜件移动一距离后,始被一加热平台支撑,其中该接合胶被该加热平台加热而相当程度固化。
9.根据权利要求8所述的真空贴膜方法,其中,在该接合胶被设置于该膜片及该待贴膜件的其中一者之前,该膜片及/或该待贴膜件是经电浆表面处理。
10.根据权利要求8或9所述的真空贴膜方法,更包含:于该接合胶被加热而固化后,移动该膜片使已贴合的该膜片与该待贴膜件脱离该加热平台。
11.根据权利要求10所述的真空贴膜方法,更包含:于已贴合的该膜片与该待贴膜件脱离该加热平台后,取出相贴合的该膜片与该待贴膜件至该腔体外,然后再次加热该接合胶至其更为固化。
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