[发明专利]垂直存储器件及其制造方法

说明书

本发明涉及垂直存储器件及其制造方法。一种垂直存储器件可以包括：多个字线，其在第一方向上间隔开，其每个在垂直于第一方向的第二方向上延伸并且在垂直于第一方向和第二方向的第三方向上具有第一宽度；虚设字线，其在最上字线的上方，包括开口并且具有它的在第三方向上有第一宽度的一部分；第一串选择线(SSL)和第二串选择线(SSL)，其在虚设字线上方，第一SSL和第二SSL沿第一方向在基本相同级处，第一SSL和第二SSL的每个在第三方向上具有比第一宽度更小的第二宽度；以及多个垂直沟道结构，其每个穿过字线、虚设字线以及第一SSL和第二SSL中的一个。

技术领域

示例实施方式涉及垂直存储器件及其制造方法。更具体地，示例实施方式涉及包括垂直堆叠的栅图案的垂直存储器件及其制造方法。

背景技术

为实现高集成度，包括垂直堆叠在衬底的表面上的多个存储单元的垂直存储器件已经被研究。在垂直存储器件中，电信号可以分别被施加到垂直堆叠的存储单元，并且可以需要用于传输电信号的焊垫结构。

发明内容

示例实施方式提供具有改善的电可靠性的垂直存储器件。

示例实施方式提供制造具有改善的电可靠性的垂直存储器件的方法。

根据示例实施方式，提供一种垂直存储器件，其可以包括：多个字线，其在基本垂直于衬底的顶表面的第一方向上彼此间隔开，字线的每个在基本平行于衬底的顶表面的第二方向上延伸并且在基本垂直于第二方向的第三方向上具有第一宽度；虚设字线，其在字线中最上的字线上方，虚设字线的边缘部分包括开口，虚设字线的一部分在第三方向上具有第一宽度；在虚设字线上方的第一串选择线(SSL)和第二串选择线(SSL)，第一SSL和第二SSL在基本相同级处，并且第一SSL和第二SSL的每个在第三方向上具有小于第一宽度的第二宽度；以及多个垂直沟道结构，垂直沟道结构的每个在第一方向上穿过字线、虚设字线以及第一SSL和第二SSL中的一个延伸。

根据示例实施方式，提供一种垂直存储器件，其可以包括：多个第一栅图案，其在基本垂直于衬底的顶表面的第一方向上被设置在距衬底的顶表面奇数级处，第一栅图案的每个在基本平行于衬底的顶表面的第二方向上延伸并且在基本垂直于第二方向的第三方向上具有第一宽度；多个第二栅图案，其被设置在第一栅图案之间在第一方向上距衬底的顶表面偶数级处，第二栅图案的每个在第三方向上具有第一宽度，并且第二栅图案的边缘部分具有暴露下层第一栅图案的边缘部分的凹部；第一虚设字线，其在第一栅图案和第二栅图案的最上的一个上方，虚设字线的边缘部分包括开口；第二虚设字线，其在第一虚设字线上方，第二虚设字线的边缘部分包括凹部和凹陷，凹部暴露第一虚设字线的边缘部分，凹陷在第二方向上延伸并且与凹部连通，第二虚设字线的一部分在第三方向上具有第一宽度；第一串选择线(SSL)和第二串选择线(SSL)，其被设置在第二虚设字线上方的基本相同级处，第一SSL和第二SSL的每个具有小于第一宽度的第二宽度；第三串选择线(SSL)和第四串选择线(SSL)，其分别在第一SSL和第二SSL上方，第三SSL和第四SSL的每个在第三方向上具有第二宽度；以及多个垂直沟道结构，垂直沟道结构的每个在第一方向上穿过字线、第一虚设字线和第二虚设字线、第一SSL和第二SSL中的一个以及第三SSL和第四SSL中的一个延伸。

根据示例实施方式，提供一种垂直存储器件，其可以包括：第一串选择线(SSL)和第二串选择线(SSL)，其每个在水平方向上具有第二宽度；切割区域，其被形成在第一SSL和第二SSL之间；第一虚设字线，其在第一SSL和第二SSL下方，第一虚设字线包括在垂直方向上与切割区域部分交叠的开口，并且第一虚设字线的一部分具有在水平方向上大于第二宽度的第一宽度；多个字线，其在第一虚设字线下方；以及垂直沟道结构，其在衬底上，垂直沟道结构的每个在垂直方向上穿过字线、虚设字线以及第一SSL和第二SSL中的一个延伸。