[发明专利]一种偏振片标定装置及方法有效
申请号: | 201710036210.X | 申请日: | 2017-01-17 |
公开(公告)号: | CN108318222B | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 李玉龙;许琦欣 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 偏振 标定 装置 方法 | ||
1.一种偏振片标定装置,其特征在于,包括:
光源单元,用于产生非偏振准直光源;
偏振片固定单元,用于固定偏振片;
探测器,用于探测偏振片的对准标记;
检偏单元,设置在偏振片固定单元下方,位置与所述偏振片对应;
以及
工作台运动控制单元,用于控制偏振片和检偏单元的水平方向运动;所述偏振片固定单元和检偏单元设置在工作台运动控制单元上。
2.根据权利要求1所述的一种偏振片标定装置,其特征在于,所述探测器采用对准CCD相机。
3.根据权利要求1所述的一种偏振片标定装置,其特征在于,所述偏振片固定单元包括夹持架支撑件和夹持架,所述偏振片固定安装在所述夹持架上,所述夹持架安装在在夹持架支撑件上。
4.根据权利要求3所述的一种偏振片标定装置,其特征在于,所述夹持架设有一个凹槽,偏振片固定在所述凹槽中。
5.根据权利要求3所述的一种偏振片标定装置,其特征在于,所述夹持架支撑件包括夹持架安装座和夹持架支撑柱,所述夹持架安装在夹持架安装座上,所述夹持架安装座架设在所述夹持架支撑柱上,所述夹持架支撑柱设置在工作台运动控制单元上。
6.根据权利要求3所述的一种偏振片标定装置,其特征在于,所述夹持架安装座上设置有一靠面,求得该靠面与所述偏振片的偏振轴的夹角以及该靠面与所述偏振片的对准标记连线的夹角,进而求得所述对准标记连线和偏振轴之间的夹角。
7.根据权利要求6所述的一种偏振片标定装置,其特征在于,所述夹持架包括一个平面,该平面和所述靠面贴合。
8.根据权利要求6所述的一种偏振片标定装置,其特征在于,所述靠面的方向和所述偏振片方向标定装置的基准方向一致。
9.根据权利要求5所述的一种偏振片标定装置,其特征在于,所述工作台运动控制单元包括滑台和直线导轨,所述滑台安装在直线导轨上,所述夹持架支撑柱设置在滑台上。
10.根据权利要1所述的一种偏振片标定装置,其特征在于,所述检偏单元包括检偏线栅、旋转电机和光能量探测器,其中,所述光能量探测器和旋转电机均安装在所述工作台运动控制单元上,所述检偏线栅架设在旋转电机上位置与所述光能量探测器对应。
11.一种偏振片标定方法,采用权利要求1-10任一所述的偏振片标定装置,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1:设定一个基准方向;
步骤2:测量并计算偏振片上对准标记连线和基准方向之间的夹角;
步骤3:测量偏振片上偏振轴和基准方向之间的夹角;
步骤4,根据步骤2和步骤3的结果,计算偏振片上对准标记连线和偏振轴之间的夹角。
12.根据权利要求11所述的一种偏振片标定方法,其特征在于,所述步骤2包括:
步骤21:探测器探测偏振片上其中一个准标记信号并计算该对准标记的位置;
步骤22:探测器探测偏振片上另一个准标记信号并计算该对准标记的位置;
步骤23:根据偏振片上其中一个对准标记和另一个对准标记的位置,计算对准标记连线与基准方向之间的夹角。
13.根据权利要求12所述的一种偏振片标定方法,其特征在于,所述步骤23包括:
根据偏振片上其中一个对准标记和另一个对准标记的位置,计算两个对准标记之间的X方向距离以及Y方向距离,根据该X方向距离和Y方向距离计算对准标记连线与基准方向之间的夹角。
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