[发明专利]一种偏振片标定装置及方法

说明书

本发明提供了一种偏振片标定装置及方法，所述偏振片标定装置包括光源单元；偏振片固定单元；探测器，用于探测偏振片的对准标记；检偏单元，设置在偏振片固定单元下方；工作台运动控制单元，用于控制偏振片和检偏单元的水平方向运动；所述偏振片固定单元和检偏单元设置在工作台运动控制单元上，所述偏振片标定方法包括设定一个基准方向；测量并计算偏振片上对准标记连线和基准方向之间的夹角；测量偏振片上偏振轴和基准方向之间的夹角；计算偏振片上对准标记连线和偏振轴之间的夹角。本发明提供的偏振片标定装置及方法能精确标定出对准标记连线和偏振轴之间的夹角，解决了偏振轴和对准标记连线的夹角在经历不同工艺后发生偏差的问题。

技术领域

本发明涉及偏振片标定领域，特别涉及一种偏振片标定装置及方法。

背景技术

众所周知，偏振片、玻片、液晶等都具有偏振特性，在光学产品和实验中都会用到大量的这些带有偏振特性的元器件。这些元器件的偏振角度或光轴角度检测显得尤为重要。

如图1所示，在一些产品制造过程中，需要使用一种同时有对准标记12和起偏区域11的偏振片，但起偏区域11和对准标记12的制作采用的是两种完全不同的工艺，例如起偏区域11采用的是浸没干涉光刻制作的线栅，对准标记12采用的是掩模投影光刻或电子束光刻制作，在经历了两次完全不同的工艺过程后，对准标记连线14与偏振片偏振轴13之间的夹角Φ是否发生了改变是很难保证也难以测量的，影响到使用该偏振片的产品精度。

发明内容

本发明为了克服现有的问题，提供了一种偏振片标定装置及方法，以解决偏振片在经历不同工艺后对准标记连线与偏振轴之间的夹角容易发生偏差的问题。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种偏振片标定装置，包括：

光源单元，用于产生非偏振准直光源；

偏振片固定单元，用于固定偏振片；

探测器，用于探测偏振片的对准标记；

检偏单元，设置在偏振片固定单元下方，位置与所述偏振片对应；

以及

工作台运动控制单元，用于控制偏振片和检偏单元的水平方向运动；所述偏振片固定单元和检偏单元设置在工作台运动控制单元上。

可选地，所述探测器采用对准CCD相机。

可选地，所述偏振片固定单元包括夹持架支撑件和夹持架，所述偏振片固定安装在所述夹持架上，所述夹持架安装在在夹持架支撑件上。

可选地，所述夹持架设有一个凹槽，偏振片固定在所述凹槽中。

可选地，所述夹持架支撑件包括夹持架安装座和夹持架支撑柱，所述夹持架安装在夹持架安装座上，所述夹持架安装座架设在所述夹持架支撑柱上，所述夹持架支撑柱设置在工作台运动控制单元上。

可选地，所述夹持架安装座上设置有一靠面，求得该靠面与所述偏振片的偏振轴的夹角以及该靠面与所述偏振片的对准标记连线的夹角，进而求得所述对准标记连线和偏振轴之间的夹角。

可选地，所述夹持架包括一个平面，该平面和所述靠面贴合。

可选地，所述靠面的方向和所述偏振片方向标定装置的基准方向一致。

可选地，所述工作台运动控制单元包括滑台和直线导轨，所述滑台安装在直线导轨上，所述夹持架支撑柱设置在滑台上。

可选地，所述检偏单元包括检偏线栅、旋转电机和光能量探测器，其中，所述光能量探测器和旋转电机均安装在所述工作台运动控制单元上，所述检偏线栅架设在旋转电机上位置与所述光能量探测器对应。