[发明专利]静电放电钳位器件以及静电放电钳位电路在审
申请号: | 201710038043.2 | 申请日: | 2017-01-18 |
公开(公告)号: | CN108321144A | 公开(公告)日: | 2018-07-24 |
发明(设计)人: | 谷欣明;陈捷 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | H01L23/60 | 分类号: | H01L23/60;H01L27/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 静电放电 源极区 钳位器件 漏极区 钳位电路 电源线 鲁棒性 一体区 电容 衬底 电阻 短接 体区 隔离 | ||
1.一种静电放电钳位器件,其特征在于,包括:
衬底;
所述衬底上具有两个以上相隔离的第一阱;
在每一个所述第一阱中,包括一源极区、一漏极区和一体区,所述源极区和漏极区之间的第一阱上具有一栅极,所述源极区与栅极之间接入一电阻,所述漏极区与栅极之间接入一电容,所述源极区与体区短接;
在不同的所述第一阱之间,第一个所述第一阱中的源极区连接一第一电源线,最后一个所述第一阱中的漏极区连接一第二电源线,前一所述第一阱中的漏极区连接后一所述第一阱中的源极区;
其中,所述衬底、源极区和漏极区为第一导电类型,所述第一阱和体区为第二导电类型。
2.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一电源线的电压高于所述第二电源线的电压。
3.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述衬底上还具有第二阱,所述第二阱位于相邻的所述第一阱之间,所述第二阱为第一导电类型,所述第二阱与所述第一阱相隔离。
4.如权利要求3所述的静电放电钳位器件,其特征在于,每个所述第二阱中设置有一第一引出区,所有的所述第一引出区接第二电源线,所述第一引出区为第一导电类型。
5.如权利要求1至4中任意一项所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述衬底上还具有至少两个第三阱,所述至少两个第三阱之间形成一限定区间,所有的所述第一阱位于所述限定区间内,所述第三阱为第一导电类型,所述第三阱与所述第一阱相隔离。
6.如权利要求5所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第三阱中设置有第二引出区,所述第二引出区接第二电源线,所述第二引出区为第一导电类型。
7.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一导电类型为P型,所述第二导电类型为N型。
8.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差大于等于10V。
9.如权利要求8所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差为20V、30V、40V或50V。
10.一种静电放电钳位电路,其特征在于,包括两个以上串联的晶体管;
在每个所述晶体管中,所述晶体管的源极与栅极之间接入一电阻,所述晶体管的漏极与栅极之间接入一电容,所述晶体管的源极与晶体管的衬底短接;
第一个所述晶体管的源极连接一第一电源线,最后一个所述晶体管的漏极连接一第二电源线,前一所述晶体管的漏极连接后一所述晶体管的源极。
11.如权利要求10所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述第一电源线的电压高于所述第二电源线的电压。
12.如权利要求10或11所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述晶体管为PMOS晶体管。
13.如权利要求10所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差大于等于10V。
14.如权利要求13所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差为20V、30V、40V或50V。
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