[发明专利]静电放电钳位器件以及静电放电钳位电路在审

专利信息
申请号: 201710038043.2 申请日: 2017-01-18
公开(公告)号: CN108321144A 公开(公告)日: 2018-07-24
发明(设计)人: 谷欣明;陈捷 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: H01L23/60 分类号: H01L23/60;H01L27/02
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 静电放电 源极区 钳位器件 漏极区 钳位电路 电源线 鲁棒性 一体区 电容 衬底 电阻 短接 体区 隔离
【权利要求书】:

1.一种静电放电钳位器件,其特征在于,包括:

衬底;

所述衬底上具有两个以上相隔离的第一阱;

在每一个所述第一阱中,包括一源极区、一漏极区和一体区,所述源极区和漏极区之间的第一阱上具有一栅极,所述源极区与栅极之间接入一电阻,所述漏极区与栅极之间接入一电容,所述源极区与体区短接;

在不同的所述第一阱之间,第一个所述第一阱中的源极区连接一第一电源线,最后一个所述第一阱中的漏极区连接一第二电源线,前一所述第一阱中的漏极区连接后一所述第一阱中的源极区;

其中,所述衬底、源极区和漏极区为第一导电类型,所述第一阱和体区为第二导电类型。

2.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一电源线的电压高于所述第二电源线的电压。

3.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述衬底上还具有第二阱,所述第二阱位于相邻的所述第一阱之间,所述第二阱为第一导电类型,所述第二阱与所述第一阱相隔离。

4.如权利要求3所述的静电放电钳位器件,其特征在于,每个所述第二阱中设置有一第一引出区,所有的所述第一引出区接第二电源线,所述第一引出区为第一导电类型。

5.如权利要求1至4中任意一项所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述衬底上还具有至少两个第三阱,所述至少两个第三阱之间形成一限定区间,所有的所述第一阱位于所述限定区间内,所述第三阱为第一导电类型,所述第三阱与所述第一阱相隔离。

6.如权利要求5所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第三阱中设置有第二引出区,所述第二引出区接第二电源线,所述第二引出区为第一导电类型。

7.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一导电类型为P型,所述第二导电类型为N型。

8.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差大于等于10V。

9.如权利要求8所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差为20V、30V、40V或50V。

10.一种静电放电钳位电路,其特征在于,包括两个以上串联的晶体管;

在每个所述晶体管中,所述晶体管的源极与栅极之间接入一电阻,所述晶体管的漏极与栅极之间接入一电容,所述晶体管的源极与晶体管的衬底短接;

第一个所述晶体管的源极连接一第一电源线,最后一个所述晶体管的漏极连接一第二电源线,前一所述晶体管的漏极连接后一所述晶体管的源极。

11.如权利要求10所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述第一电源线的电压高于所述第二电源线的电压。

12.如权利要求10或11所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述晶体管为PMOS晶体管。

13.如权利要求10所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差大于等于10V。

14.如权利要求13所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差为20V、30V、40V或50V。

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