[发明专利]静电放电钳位器件以及静电放电钳位电路在审
申请号: | 201710038043.2 | 申请日: | 2017-01-18 |
公开(公告)号: | CN108321144A | 公开(公告)日: | 2018-07-24 |
发明(设计)人: | 谷欣明;陈捷 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | H01L23/60 | 分类号: | H01L23/60;H01L27/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 静电放电 源极区 钳位器件 漏极区 钳位电路 电源线 鲁棒性 一体区 电容 衬底 电阻 短接 体区 隔离 | ||
本发明提供一种静电放电钳位器件以及静电放电钳位电路,在所述静电放电钳位器件中,衬底上具有两个以上相隔离的第一阱,在每一个所述第一阱中,包括一源极区、一漏极区和一体区,所述源极区和漏极区之间的第一阱上具有一栅极,所述源极区与栅极之间接入一电阻,所述漏极区与栅极之间接入一电容,所述源极区与体区短接;第一个所述第一阱中的源极区连接一第一电源线,最后一个所述第一阱中的漏极区连接一第二电源线,前一所述第一阱中的漏极区连接后一所述第一阱中的源极区。所述静电放电钳位器件以及静电放电钳位电路可以提高静电放电钳位器件的鲁棒性。
技术领域
本发明涉及集成电路静电保护电路设计领域,尤其涉及一种静电放电钳位器件以及静电放电钳位电路。
背景技术
集成电路(ICs)在制造、装配和测试或在最终的应用中,很容易遭受到制造或者使用过程中的破坏性静电放电(ESD),可导致许多问题,如栅极氧化物击穿、结损伤、金属损害、和表面电荷累积,从而使得集成电路受到静电的损伤。
目前,电源管理集成电路,驱动器集成电路和汽车集成电路等高压集成电路已经广泛应用于生产生活当中,但是,在现有的在高压集成电路中,静电放电的鲁棒性(robustness)差,不足以满足高压静电放电的要求,造成高压集成电路损伤。因此,有必要对的高压集成电路提供有效地的静电放电保护。
发明内容
本发明的目的在于,提供一种静电放电钳位器件以及静电放电钳位电路,可以有效地提高高压集成电路的静电放电保护能力。
为解决上述技术问题,本发明提供一种静电放电钳位器件,包括:
衬底;
所述衬底上具有两个以上相隔离的第一阱;
在每一个所述第一阱中,包括一源极区、一漏极区和一体区,所述源极区和漏极区之间的第一阱上具有一栅极,所述源极区与栅极之间接入一电阻,所述漏极区与栅极之间接入一电容,所述源极区与体区短接;
在不同的所述第一阱之间,第一个所述第一阱中的源极区连接一第一电源线,最后一个所述第一阱中的漏极区连接一第二电源线,前一所述第一阱中的漏极区连接后一所述第一阱中的源极区;
其中,所述衬底、源极区和漏极区为第一导电类型,所述第一阱和体区为第二导电类型。
可选的,在所述静电放电钳位器件中,所述第一电源线的电压高于所述第二电源线的电压。
可选的,在所述静电放电钳位器件中,所述衬底上还具有第二阱,所述第二阱位于相邻的所述第一阱之间,所述第二阱为第一导电类型,所述第二阱与所述第一阱相隔离。
可选的,在所述静电放电钳位器件中,每个所述第二阱中设置有一第一引出区,所有的所述第一引出区接第二电源线,所述第一引出区为第一导电类型。
可选的,在所述静电放电钳位器件中,所述衬底上还具有至少两个第三阱,所述至少两个第三阱之间形成一限定区间,所有的所述第一阱位于所述限定区间内,所述第三阱为第一导电类型,所述第三阱与所述第一阱相隔离。
可选的,在所述静电放电钳位器件中,所述第三阱中设置有第二引出区,所述第二引出区接第二电源线,所述第二引出区为第一导电类型。
可选的,在所述静电放电钳位器件中,所述第一导电类型为P型,所述第二导电类型为N型。
可选的,在所述静电放电钳位器件中,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差大于等于10V。
可选的,在所述静电放电钳位器件中,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差为20V、30V、40V或50V。
根据本发明的另一面,还提供一种静电放电钳位电路,包括两个以上串联的晶体管;
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