[发明专利]复合式稳定移载装置及加磁输送轮

权利要求书

1.一种复合式稳定移载装置，用于安装在一个溅镀腔体，该复合式稳定移载装置包含：两个轮座、数个设置于所述轮座的轮组、一个承靠于所述轮组的载台单元，及一个用于驱动所述轮组的驱动单元；其特征在于：

所述轮座，沿一个横方向间隔设置于该溅镀腔体内，各轮座沿一个垂直于该横方向的输送方向延伸；

所述轮组，其中数者沿该输送方向间隔设置于其中一个轮座，其余数者沿该输送方向间隔设置于另一个轮座，各轮组包括

一个轮轴，枢设于所对应的轮座，及

一个加磁输送轮，连接该轮轴，且具有一个轴线、一个环绕该轴线的轮周部、一个环绕该轴线设置于该轮周部内的磁轨环，及至少一个环绕设置于该轮周部的外周面且具有弹性的摩擦环，该磁轨环具有环绕该轴线交错间隔设置的数个正磁区及数个负磁区，各正磁区的磁极相异于各负磁区的磁极；

该载台单元，承靠于所述轮组的摩擦环，并包括一个载台，及两个沿该横方向间隔设置于该载台的磁轨条，各磁轨条沿该输送方向延伸且具有沿该输送方向交错间隔设置的数个正磁区及数个负磁区，各正磁区的磁极相异于各负磁区的磁极，所述磁轨条其中一者是对应设置于其中一个轮座的所述轮组，所述磁轨条另一者是对应设置于另一个轮座的所述轮组；及

该驱动单元，能被操作用于驱动所述轮组同步运转。

2.根据权利要求1所述的复合式稳定移载装置，其特征在于：各加磁输送轮还具有一个壳体及一个侧封环盖，该壳体具有该轮周部、一个沿径向位于该轮周部内侧的轴承环部、一个由该轮周部的一端延伸至该轴承环部的封闭侧部，及一个由该轮周部、该轴承环部及该封闭侧部所界定形成的容置空间，该侧封环盖盖设于该壳体的该轮周部相反于该封闭侧部的一端，以封闭该容置空间的开口。

3.根据权利要求2所述的复合式稳定移载装置，其特征在于：各磁轨环设置于所对应的加磁输送轮的该容置空间，且贴设于各加磁输送轮的该轮周部的内周面。

4.根据权利要求1所述的复合式稳定移载装置，其特征在于：该载台的底面凹陷形成两个分别供所述磁轨条嵌设的嵌槽，该载台单元的所述磁轨条分别承靠于所述轮组的摩擦环。

5.根据权利要求1所述的复合式稳定移载装置，其特征在于：定义其中两个沿该横方向相对设置的轮组为主动轮组，定义其余的轮组为从动轮组，该驱动单元包括一个驱动件、一个连接轴、数个传动轮，及两个传动组，该驱动件连接于其中一个主动轮组的轮轴，该连接轴连接所述主动轮组的轮轴，所述传动轮分别设置于所述轮组的轮轴，所述传动组其中一者将设置于该其中一个轮座的所述轮组的传动轮相连接，所述传动组另一者将设置于另一个轮座的所述轮组的传动轮相连接，用于致使所述轮组能同步运转。

6.一种加磁输送轮，包含：一个轴线，及一个环绕该轴线的轮周部；其特征在于：

该加磁输送轮还包含：

一个磁轨环，环绕该轴线并设置于该轮周部内，且包括环绕该轴线交错间隔设置的数个正磁区及数个负磁区，各正磁区的磁极相异于各负磁区的磁极；及

至少一个摩擦环，环绕设置于该轮周部的外周面且具有弹性。

7.根据权利要求6所述的加磁输送轮，其特征在于：该加磁输送轮还包含一个壳体及一个侧封环盖，该壳体包括该轮周部、一个沿径向位于该轮周部内侧的轴承环部、一个由该轮周部的一端延伸至该轴承环部的封闭侧部，及一个由该轮周部、该轴承环部及该封闭侧部所界定形成的容置空间，该侧封环盖盖设于该壳体的该轮周部相反于该封闭侧部的一端，以封闭该容置空间的开口。

8.根据权利要求6或7所述的加磁输送轮，其特征在于：该磁轨环设置于该容置空间，且贴设于该轮周部的内周面。