[发明专利]复合式稳定移载装置及加磁输送轮

说明书

技术领域

本发明涉及一种移载装置，特别是涉及一种用于溅镀设备的复合式稳定移载装置。

背景技术

申请人所研发且已申请为中国台湾证书号数第M384399号专利的一种水平步进式溅镀设备，包含数个分别对应数个溅镀腔室且用于输送一个工件托盘于所述溅镀腔室间移动的驱动单元。各驱动单元包括一个位于所对应的溅镀腔室外的传输马达、数个设置于所对应溅镀腔室内的且被该传输马达驱动的输送滚轮，及数个设置于所对应溅镀腔室内且位于所述输送滚轮两侧的侧向滚轮。各驱动单元在驱动该工件托盘移动时，所述输送滚轮是与该工件托盘的底面抵接，所述侧向滚轮导引该工件托盘的两侧，藉此达到能连续且周期性往复带动该工件托盘，并对该工作托盘进行精确的位置控制。

但由于上述工件托盘借由与输送滚轮之间摩擦滚动接触进行移载，因此当所述输送滚轮由运转状态快速停止运转时，该工件托盘因惯性运动无法立即随着所述输送滚轮停止移动，从而容易产生定位偏差的问题。

该工件托盘在各腔室内或跨腔室移动时，经常会歪斜，需借由接触所述侧向滚轮来导正，从而增加机构复杂度及容易因碰撞产生落尘污染及工件振动偏移。

另外，中国台湾证书号数第I421360号专利所公开的一种双面溅射蚀刻基板之系统，其一个盘片载具是具有一组磁化轮，且载置于一组以永久磁性材料制作的轨道，并由一个直线马达驱动该盘片载具。该盘片载具借由该组磁化轮与该组磁性轨道相配合产生较佳的吸引力及稳定性。

但由于上述磁化轮与磁性轨道为直接硬接触，因此当该组磁性轨道的轨道面加工不平整，或是两个磁性轨道之间具有设置高度差，皆会造成该盘片载具在移动过程中倾斜晃动，从而影响溅射蚀刻的质量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种至少克服先前技术所述缺点的复合式稳定移载装置。

本发明复合式稳定移载装置，用于安装在一个溅镀腔体，包含两个轮座、数个设置于所述轮座的轮组、一个承靠于所述轮组的载台单元，及一个用于驱动所述轮组的驱动单元。

所述轮座沿一个横方向间隔设置于该溅镀腔体内。各轮座沿一个垂直于该横方向的输送方向延伸。

所述轮组的其中数者沿该输送方向间隔设置于其中一个轮座，其余数者沿该输送方向间隔设置于另一个轮座。各轮组包括一个轮轴，及一个加磁输送轮。该轮轴枢设于所对应的轮座。该加磁输送轮连接该轮轴，且具有一个轴线、一个环绕该轴线的轮周部、一个环绕该轴线设置于该轮周部内的磁轨环，及至少一个环绕设置于该轮周部的外周面且具有弹性的摩擦环，该磁轨环具有环绕该轴线交错间隔设置的数个正磁区及数个负磁区，各正磁区的磁极相异于各负磁区的磁极。

该载台单元承靠于所述轮组的摩擦环，并包括一个载台，及两个沿该横方向间隔设置于该载台的磁轨条。各磁轨条沿该输送方向延伸且具有沿该输送方向交错间隔设置的数个正磁区及数个负磁区。各正磁区的磁极相异于各负磁区的磁极。所述磁轨条其中一者是对应设置于其中一个轮座的所述轮组，所述磁轨条另一者是对应设置于另一个轮座的所述轮组。

该驱动单元能被操作用于驱动所述轮组同步运转。

本发明复合式稳定移载装置，各加磁输送轮还具有一个壳体及一个侧封环盖，该壳体具有该轮周部、一个沿径向位于该轮周部内侧的轴承环部、一个由该轮周部的一端延伸至该轴承环部的封闭侧部，及一个由该轮周部、该轴承环部及该封闭侧部所界定形成的容置空间，该侧封环盖盖设于该壳体的该轮周部相反于该封闭侧部的一端，以封闭该容置空间的开口。

本发明复合式稳定移载装置，各磁轨环设置于所对应的加磁输送轮的该容置空间，且贴设于各加磁输送轮的该轮周部的内周面。

本发明复合式稳定移载装置，该载台的底面凹陷形成两个分别供所述磁轨条嵌设的嵌槽，该载台单元的所述磁轨条分别承靠于所述轮组的摩擦环。

本发明复合式稳定移载装置，定义其中两个沿该横方向相对设置的轮组为主动轮组，定义其余的轮组为从动轮组，该驱动单元包括一个驱动件、一个连接轴、数个传动轮，及两个传动组，该驱动件连接于其中一个主动轮组的轮轴，该连接轴连接所述主动轮组的轮轴，所述传动轮分别设置于所述轮组的轮轴，所述传动组其中一者将设置于该其中一个轮座的所述轮组的传动轮相连接，所述传动组另一者将设置于另一个轮座的所述轮组的传动轮相连接，用于致使所述轮组能同步运转。