[发明专利]同面共享电极型差动压力传感探头及其研制方法

权利要求书

1.一种同面共享电极型差动压力传感探头的研制方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

在绝缘薄膜上覆合三条相互平行且宽度均为1毫米的金属电极作为电极层，第一条边缘电极和中间电极之间的垂直距离为5.26厘米、中间电极和第二条边缘电极之间的垂直距离为0.68厘米；将电极层置于旋转平台上备用，并确保覆合有三条电极的一侧向上；

将平均长度为10微米和平均直径为15纳米的碳纳米管和聚二甲基硅氧烷按0.11∶1的质量比混合，利用机械搅拌和超声振荡使碳纳米管在由聚二甲基硅氧烷和有机溶剂构成的混合溶液中分散，待有机溶剂挥发后，形成高碳纳米管含量的碳纳米管填充聚二甲基硅氧烷复合材料；将高碳纳米管含量的碳纳米管填充聚二甲基硅氧烷复合材料滴入固定于旋转平台上的电极层的第一条边缘电极和中间电极所围成的区域；把高碳纳米管含量的碳纳米管填充聚二甲基硅氧烷复合材料旋涂成所需厚度；去除溢出在第一条边缘电极和中间电极所围成的区域之外的高碳纳米管含量的碳纳米管填充聚二甲基硅氧烷复合材料，使高碳纳米管含量的碳纳米管填充聚二甲基硅氧烷复合材料成为横跨在第一条边缘电极和中间电极之间的宽度为0.38厘米的矩形薄膜，进而完成压阻材料层的负压阻系数敏感膜的制备；

将平均长度为10微米和平均直径为15纳米的碳纳米管和聚二甲基硅氧烷按0.05∶1的质量比混合，利用机械搅拌和超声振荡使碳纳米管在由聚二甲基硅氧烷和有机溶剂构成的混合溶液中分散，待有机溶剂挥发后，形成低碳纳米管含量的碳纳米管填充聚二甲基硅氧烷复合材料；将低碳纳米管含量的碳纳米管填充聚二甲基硅氧烷复合材料滴入固定于旋转平台上的电极层的中间电极和第二条边缘电极所围成的区域；把低碳纳米管含量的碳纳米管填充聚二甲基硅氧烷复合材料旋涂成所需厚度；去除溢出在中间电极和第二条边缘电极所围成的区域之外的低碳纳米管含量的碳纳米管填充聚二甲基硅氧烷复合材料，使低碳纳米管含量的碳纳米管填充聚二甲基硅氧烷复合材料成为横跨在中间电极和第二条边缘电极之间的宽度为3.21厘米的矩形薄膜，进而完成压阻材料层的正压阻系数敏感膜的制备；

将由压阻材料层和电极层所组成的双层结构放置于程控升降台的固定平台上备用，并确保覆合有负压阻系数敏感膜和正压阻系数敏感膜的一侧向上；将交联剂和聚二甲基硅氧烷按一定比例混合制备为绝缘高分子材料；将绝缘高分子材料涂覆在程控升降台的固定平台上的由压阻材料层和电极层所组成的双层结构上，通过微机控制固定于程控升降台可动平台上的光滑刚性平板向下移动，将绝缘高分子材料挤压为所需厚度；去除溢出在由压阻材料层和电极层所组成的双层结构之外的绝缘高分子材料，剩余的绝缘高分子材料即为高分子层，进而完成同面共享电极型差动压力传感探头的制备。