[发明专利]设备监控系统及设备监控方法在审

专利信息
申请号: 201710061231.7 申请日: 2017-01-25
公开(公告)号: CN108345275A 公开(公告)日: 2018-07-31
发明(设计)人: 何慧斌;黄晶 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: G05B19/418 分类号: G05B19/418
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 设备监控系统 生产线设备 分析模块 数据储存 动态调整模块 控制系统模块 数据采样模块 调整数据 监控数据 设备监控 反馈 采集 机台 动态调整 生产效率 外部系统 对设备 监控 储存 发送 修正 通讯 表现 分析
【权利要求书】:

1.一种设备监控系统,其特征在于,包括云数据采样模块、云数据储存分析模块、生产线动态调整模块以及反馈和控制系统模块;其中,

所述云数据采样模块对生产线设备的监控数据进行采集;所述云数据储存分析模块对采集到的监控数据进行储存和分析后,发出一调整数据;所述生产线动态调整模块接收由所述云数据储存分析模块发送的调整数据对生产线设备的监控进行修正;所述反馈和控制系统模块实现与外部系统之间的通讯。

2.如权利要求1所述的设备监控系统,其特征在于,所述云数据采样模块包括设备离线监控部分、产品即时在线工序检测部分、生产线负载待加工产品数量和产品类型构成部分、设备生产利用率部分以及设备状态部分。

3.如权利要求2所述的设备监控系统,其特征在于,所述云数据储存分析模块包括一数据库,依据所述数据库获得监控项目的基准和异常报告,所述异常报告传递至所述反馈和控制系统模块。

4.如权利要求3所述的设备监控系统,其特征在于,所述基准包括历史数据的平均值和方差。

5.如权利要求3所述的设备监控系统,其特征在于,所述云数据储存分析模块依据所述基准和一加成值获得最终动态调整调整系数。

6.如权利要求5所述的设备监控系统,其特征在于,所述生产线动态调整模块接收由所述云数据储存分析模块发送的最终动态调整调整系数对生产线设备的监控进行修正。

7.如权利要求3所述的设备监控系统,其特征在于,所述基准包括离线监测稳定影响系数,在线产品监测稳定系数以及设备利用率和工序产品数量系数。

8.如权利要求1所述的设备监控系统,其特征在于,所述修正包括对监控频率和监控项目的变更。

9.一种设备监控方法,利用如权利要求1-8中任意一项所述的设备监控系统进行监控,包括:

云数据采样模块进行需求测试,获得测试数据;

云数据储存分析模块将获得的测试数据进行存储和分析,获得调整数据;

所述生产线动态调整模块接收所述调整数据对生产线设备的监控进行修正;

所述反馈和控制系统模块依据修正后的内容反馈技术人员和云数据储存分析模块。

10.如权利要求9所述的设备监控方法,其特征在于,所述需求测试为离线监控测试。

11.如权利要求10所述的设备监控方法,其特征在于,所述云数据储存分析模块将获得的测试数据进行存储和分析,获得调整数据包括:

依据历史数据获得离线监控测试的基准;

将所述测试数据与所述基准进行比较,获得一加成值;

依据所述基准和所述加成值获得最终动态调整调整系数;

结合监控项目与所述最终动态调整调整系数获得所述调整数据。

12.如权利要求11所述的设备监控方法,其特征在于,所述比较包括进行F检验和T检验,依据F检验和T检验生成P值,依据所述P值获得一加成值。

13.如权利要求9所述的设备监控方法,其特征在于,所述需求测试为在线工序测量。

14.如权利要求13所述的设备监控方法,其特征在于,所述云数据储存分析模块将获得的测试数据进行存储和分析,获得调整数据包括:

依据历史数据获得在线工序测量的基准;

将所述测量数据与所述基准进行比较,获得一加成值;

依据所述基准和所述加成值获得最终动态调整调整系数;

结合监控项目与所述最终动态调整调整系数获得所述调整数据。

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