[发明专利]设备监控系统及设备监控方法

说明书

本发明揭示了一种设备监控系统及设备监控方法。本发明提供的设备监控系统，包括云数据采样模块、云数据储存分析模块、生产线动态调整模块以及反馈和控制系统模块；其中，所述云数据采样模块对生产线设备的监控数据进行采集；所述云数据储存分析模块对采集到的监控数据进行储存和分析后，发出一调整数据；所述生产线动态调整模块接收由所述云数据储存分析模块发送的调整数据对生产线设备的监控进行修正；所述反馈和控制系统模块实现与外部系统之间的通讯。由此实现对生产线设备的监控进行动态调整，提高生产效率，加快了对设备稳定性表现的反馈，提高了机台的利用率。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种设备监控系统及设备监控方法。

背景技术

当今的半导体制造工艺复杂性不断提升，但同时工业日趋激烈的竞争压力也在改变着客户的需求，产品的时效性对客户来说至关重要。因此，采用基于大数据云计算的生产线多元化管控方法来帮助优化生产效率会变得很有价值。

半导体生产线管控包括很多种方法，其中离线监控是通过模拟产品工艺参数来制定相应的检测方法来监控生产设备的稳定状况。离线监控是占用设备有效生产时间的，因此动态调整离线监控的频率以及检测方法来缩短此项比例提高设备生产利用率是很有效的。

但是目前半导体业界对设备离线监控通常是在初始阶段建立，之后根据需要人工增加/减少频率或者根据不同产品需求调整监控项目。由于生产线产品的多样性和每一道工序在线产品数量是动态变化的，这种方法通常会有滞后性，会造成设备资源的浪费。

发明内容

本发明的目的在于提供一种设备监控系统及设备监控方法，实现对设备离线监控的优化和动态调整。

为解决上述技术问题，本发明提供一种设备监控系统，包括云数据采样模块、云数据储存分析模块、生产线动态调整模块以及反馈和控制系统模块；其中，

所述云数据采样模块对生产线设备的监控数据进行采集；所述云数据储存分析模块对采集到的监控数据进行储存和分析后，发出一调整数据；所述生产线动态调整模块接收由所述云数据储存分析模块发送的调整数据对生产线设备的监控进行修正；所述反馈和控制系统模块实现与外部系统之间的通讯。

可选的，对于所述的设备监控系统，所述云数据采样模块包括设备离线监控部分、产品即时在线工序检测部分、生产线负载待加工产品数量和产品类型构成部分、设备生产利用率部分以及设备状态部分。

可选的，对于所述的设备监控系统，所述云数据储存分析模块包括一数据库，依据所述数据库获得监控项目的基准和异常报告，所述异常报告传递至所述反馈和控制系统模块。

可选的，对于所述的设备监控系统，所述基准包括历史数据的平均值和方差。

可选的，对于所述的设备监控系统，所述云数据储存分析模块依据所述基准和一加成值获得最终动态调整调整系数。

可选的，对于所述的设备监控系统，所述生产线动态调整模块接收由所述云数据储存分析模块发送的最终动态调整调整系数对生产线设备的监控进行修正。

可选的，对于所述的设备监控系统，所述基准包括离线监测稳定影响系数，在线产品监测稳定系数以及设备利用率和工序产品数量系数。

可选的，对于所述的设备监控系统，所述修正包括对监控频率和监控项目的变更。

本发明还提供一种设备监控方法，利用如上所述的设备监控系统进行监控，包括：

云数据采样模块进行需求测试，获得测试数据；

云数据储存分析模块将获得的测试数据进行存储和分析，获得调整数据；

所述生产线动态调整模块接收所述调整数据对生产线设备的监控进行修正：