[发明专利]悬臂装置、检查装置、分析表面的方法和微图案形成方法

权利要求书

1.一种基板表面检查装置，包括：

能够容纳基板的支撑物；

具有悬臂和探针尖端的测量单元，所述探针尖端在所述悬臂的端部并且能够接触所述基板；

能够改变所述基板和所述探针尖端的相对位置的驱动单元；

能够辐照光到所述悬臂上的光源单元；

能够由被所述悬臂反射的光而获得所述基板的表面的信息的传感器；和

确定单元，由被所述传感器感测的所述基板的所述表面的所述信息而确定所述基板的所述表面是否正常，

其中所述探针尖端包括用聚合物改性的探针尖端基底，以使所述探针尖端基底的用聚合物改性的一部分形成探针尖端的顶端，

其中：

所述聚合物经由插入的连接体键合到所述探针尖端基底，并且所述连接体通过酯基或醚基连接到所述聚合物，或者

所述聚合物是双嵌段共聚物，并且所述双嵌段共聚物的在对所述探针尖端的键合侧的嵌段具有恒定长度，或者

所述聚合物包括键合到所述探针尖端的两种均聚物，第一均聚物是亲水性的，所述第一均聚物是所述两个均聚物中的一种，和第二均聚物是疏水性的，所述第二均聚物是所述两个均聚物中的另一种。

2.如权利要求1所述的基板表面检查装置，其中所述确定单元配置为计算所述基板的所述表面与所述探针尖端之间的粘附功并通过比较所获得的粘附功与参考值来确定所述基板的所述表面是否正常。

3.如权利要求2所述的基板表面检查装置，其中：

所述粘附功由所述基板的所述表面与所述探针尖端之间的表面能计算，和

所述表面能通过所述探针尖端与所述基板的所述表面之间的相互作用被确定。

4.如权利要求3所述的基板表面检查装置，其中所述基板是在其表面上具有钉扎图案和中性图案层的半导体基板。

5.如权利要求1所述的基板表面检查装置，其中所述探针尖端通过至少部分地涂覆所述聚合物到所述探针尖端基底上而被改性。

6.一种用于原子力显微镜(AFM)的悬臂装置，所述悬臂装置包括：

支承构架；

固定到所述支承构架的悬臂；和

提供到所述悬臂的端部的探针尖端，

其中所述探针尖端具有探针尖端基底，所述探针尖端基底至少部分地用聚合物改性，以使所述探针尖端基底的用聚合物改性的一部分形成探针尖端的顶端，

其中：

所述聚合物经由插入的连接体键合到所述探针尖端基底，并且所述连接体通过酯基或醚基连接到所述聚合物，或者

所述聚合物是双嵌段共聚物，并且所述双嵌段共聚物的在对所述探针尖端的键合侧的嵌段具有恒定长度，或者

所述聚合物包括键合到所述探针尖端的两种均聚物，第一均聚物是亲水性的，所述第一均聚物是所述两个均聚物中的一种，和第二均聚物是疏水性的，所述第二均聚物是所述两个均聚物中的另一种。

7.一种用于原子力显微镜(AFM)的探针尖端，所述探针尖端包括：

探针尖端基底；和

在所述探针尖端基底的表面的至少一部分上的聚合物，

其中：

所述聚合物经由插入的连接体键合到所述探针尖端，和

所述连接体通过酯基或醚基连接到所述聚合物，

其中：

所述聚合物是双嵌段共聚物，和

所述双嵌段共聚物的在对所述探针尖端的键合侧的嵌段具有恒定长度，或者

其中：

所述聚合物包括键合到所述探针尖端的两种均聚物，

第一均聚物是亲水性的，所述第一均聚物是所述两个均聚物中的一种，和

第二均聚物是疏水性的，所述第二均聚物是所述两个均聚物中的另一种。

8.如权利要求7所述的探针尖端，其中所述探针尖端通过至少部分地涂覆所述聚合物到所述探针尖端上而被改性。

9.如权利要求7所述的探针尖端，其中所述探针尖端通过共价键键合到所述聚合物。